无尘室的特性及管理.ppt

SMIF FIMS System SMIF (Standard Mechanical Inter Face) FIMS (Front-Opening Interface Mechanical Standard) 系統，在 整體 Clean Room當中，要求對露光與蝕刻等裝置之超清淨的環境，藉由一部份空間以 Class 1 以下維持超清淨狀態，如此能夠大大提升整體 Clean Room設備的使用效率。次世代 Clean Room的設備會設置在各各核心的半導體設備上，就是所謂的超小型 Clean Room 裝備(Mini Environment), 組成 密閉型晶片容器(Pod/FOUP), 密閉型晶片容器開閉裝備(Indexer/Opener), 以及移送晶片專用的robot系統 等。 SMIF FIMS System - 進行晶片工程，能最小化空間，藉由維持局部的高清淨度，根本性切斷外部環境所產生的污染- 改善半導體的收益率與 收益性 減少設備與 Running 的 Cost - 維持Chamber內氣流的平均分佈 SMIF FIMS System的特徵 * PPT课件 比較各個 Clean Room 方式_1/2 項目 垂直層流方式 水平層流方式 亂流方式 Clean Tube Clean Tunnel 清淨度 Class 1~100 Class 100 Class 1,000~100,000 Class 1 Class 1~100 作業中 清淨度 作業人員 的影響小 上流振動對下流有影響 作業人員 會有影響 作業人員 不會有影響 作業人員的振動 影響最小 設備費 高 中 低 低 中 運轉 費用 高 中 低 低 中 維修 容易 困難 容易 困難 困難 維持 管理 容易 容易 容易 困難 容易 擴展性 困難 困難 可能性 困難 容易 精密 控制 為了控管整體 室內會稍微 不均衡 上流振動對下流有影響 有不均衡 維持高清淨度 比操作有更高的精密度控管 * PPT课件 項目 垂直層流方式 水平層流方式 亂流方式 Clean Tube Clean Tunnel 系統 比較各個 Clean Room 方式_2/2 * PPT课件 Clean Room 構造要求事項 項目 要求部分 要求內容 天花板 牆壁 地板 耐荷重性 O 重量材料不能損壞，以大型車輛運行時不能掉落 耐震性 O O O 地震等的振動時，有其安全構造, 以及不要失去平衡 氣密性 O O O 對於內部的壓力要維持其氣密性, 對外部灰塵有防止效果的結構 耐壓性 O O O 對一般的壓力，不會變形的結構 耐衝擊性 O 落下所造成的衝擊，不會發生分裂、分解或脆裂 隔熱性 O O O 維持溫濕度，沒有結露問題之隔熱性構造 遮音性 O O O 在內外部所產生的聲音不容易穿透的構造 防火性 O O O 依照建築標準法、消防法的構造 居住性 O O O 地板不會滑，色調及天花板的高度不會有壓迫感 吸音性 O O O 所產生的聲音不會有回音的構造 * PPT课件 目次 了解Clean Room與管理方法 Ⅰ. Clean Room的特性 Ⅱ.Clean Room 的管理方法 Ⅲ.Clean Room 的評價方法 * PPT课件 Ⅰ. Clean Room 的特性 * PPT课件 何謂Clean Room? Clean Room的定義 所謂的 Clean Room是完全沒有灰塵的房間。 也稱做清淨室。 超高密度集積回路就像操作遺傳因子一樣，對於在處理細胞內很微小的遺傳因子的地方，環境條件的品質有很大的影響。 如此的地方，環境中存有一點的灰塵就會造成問題產生，連以肉眼看不到的灰塵都不能存在。 為了防止灰塵進入，從外部開始就要進行隔離，要進入的人員需在門外將灰塵清除之後才進入，且為了在裡面的人員不要產生灰塵需要穿上無塵服，以及為了清除灰塵必須設置所需要的設備。 * PPT课件 Clean Room的六個原則 以下是Clean Room的六個原則 防止particle 的侵入 Clean Room 的六個原則 防止particle 的累積 維持所需的 溫濕度 及室內壓 清淨的 空氣送風 清除particle 的產物 防止particle 的回收 * PPT课件 半導體 – 晶片製造、處理， PHOTOLITHOGRAPHY,製造 IC晶片 電子機器 – 磁性 tape、 SHADOW MASK 精密機械 – 火箭零件, 鐘錶,軸承, 儀器 光學機械 - lens, 直接回路mask, print板, film, 精密印刷 醫學 – 特殊手術,一般手術, 特殊治療, 恢復室, 新生兒室, 藥劑室 藥品 – 注射液，無菌動物, 普通藥品, 調藥 pr