ch硅单晶与硅片加工.pptxVIP

3.1 Phase Diagram —Phase-change, Solid Solubility Segregation 相图—相变、固溶度与分凝 3.1.1Phase Diagram 基本性质Lever rule（F 2.1）相律（F 2.2）三相点无限互溶（F 2.3）3.1.2 Impurity Solid Solubility 最大固溶度 Frozen-in Precipitation Quenching 3.1.3 Phenomenon of Segregation Equilibrium Segregation Coefficient k=CS/CL ,( k=CS1/CS2，or *** )3.2 高纯多晶硅的制备 地球上最多的元素是Si， 化合物是石英砂（SiO2）， 与焦碳混合，在电炉中还原（1600~1800°C）可以获得95~99%的工业粗硅（冶金级硅）。MGS（Metallurgical Grade Silicon） SiO2+2C=Si+2CO↑1、硅粉的酸洗 HCl、王水、（HF+H2SO4）、蒸馏水 2、中间化合物的精馏提纯与高纯多晶硅的还原 1）三氯氢硅法 （SiHCl3，trichlorosilanes—TCS） 合成 Si+3HCl←→SiHCl3+H2 通过控制温度、气压等，抑制SiCl4、SiH2Cl2、SiH3Cl、SiH4的产生