第九章 投射电镜.pptVIP

第三章 电子显微分析 之一透射电子显微分析 第一节 工作原理及构造* 第二节 样品制备 第三节 基本成像操作及相衬度* 第五节典型应用*及其他功能简介 电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM) 扫描电子显微镜(SEM) 电子探针X射线显微分析仪 (EPA或EPMA) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES) 透射电子显微镜(TEM) 的形式 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 Tecnai G2 20 透射电镜 第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 成像原理与光学显微镜类似 不同点： 光源：在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微镜则以电子为照明束。 成像介质：在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透镜，在电子显微镜中为磁透镜。 功能：透射电镜在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。 图9-2 透射电子显微镜光路原理图 二、构造 1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜 静电透镜 电子透镜