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- 2019-12-15 发布于江西
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XXX?科技有限公司(苏州)生产厂房
气体管道检测方案
中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心
二○○七年十月九日
Ⅰ-检测前的准备
经过过滤器除尘后得无油压缩空气或高纯氮气吹扫?24?小时,流速大
于?20m/s,并以木槌轻轻敲击待测管路;测试前必须对现场测试介质进行确
认,避免误用测试介质,对压缩空气、氩气和氮气系统直接测量,对纯氧和
纯氢系统选用高纯氮或高纯氩为替代介质进行测试。
Ⅱ-检测方法学概述
1. 气体洁净度测试
a?测试目的
确认各气体系统洁净度满足设计要求
b?测试条件
过滤器已安装;空压机正常运转;气体供应充足,测试时管道保证
压力在?0.3MPa~0.7?MPa?之间。
c?测试方法
选取各系统的气源和最不利(远端)的用气点(即系统内管路最长、
走向最复杂的用气点)进行测试,或经甲方工程主管指定用气点进
行抽样测试。
用尘埃离子计数器连接气体管道采样。仪器布置示意图如下:
充充充充充充充
充充
尘埃粒子计数器进行在线监测测量,当观察到读数满足要求并稳
定一段时间之后,即停止测试。尘埃粒子测量在连续三个周期
-2-
系统名称
大于或等于表中粒径的最大浓度限值
(pc/cft)
≥0.1um
≥0.3um
高纯氢气(H2)
10
——
高纯氮气(N2)
10
——
高纯氧气(O2)
10
——
高纯氩气(AR)
10
——
压缩空气(CDA)
——
20
二氧
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