螺旋形矽锗合金管的制备及其特性.pdfVIP

4.螺旋形矽鍺合金管的製備及其特性 4.1 樣品製備的原理 成長在以矽為基底的兩層不同鍺濃度的矽鍺合金薄膜，因晶格取向附生的原 因，兩層薄膜受到壓縮應變，當這兩層薄膜發生鬆弛(relaxed)時，兩層薄膜因應 力的作用而捲曲成管，藉由矽鍺合金薄膜幾何形狀的改變，應變能釋放達到最低 1 的彈力位能能態 。 一般來說，矽鍺合金的彈力位能能態和其楊氏係數有關，楊氏係數愈小，位 能能態愈低。因此矽鍺合金薄膜在釋放應變能捲曲時會往楊氏係數小的方向彎 曲。而在矽鍺合金中，楊氏係數在[110]方向是[100]方向的 1.3 倍 ，所以矽鍺合金 2 薄膜會往100方向捲曲 。 當矽鍺合金薄膜的切割方向，並非沿100方向，而是夾一角度時，薄膜的 應變鬆弛方向會產生兩個方向，而使薄膜捲曲成螺旋狀，圖 4.1.1 。110為切割 方向，管軸方向在100 ，其夾角為45 度。 圖 4.1.1 螺旋管切割方向和管軸方向示意圖。 30 4.2 樣品成長條件 螺旋管#C4 、#C5 被成長在相同樣品上。在 Si 的基底上先成長 70