日立SU电镜的应用培训.pptVIP

* 消除荷电现象的方法 将不导电样品进行喷镀（使用离子溅射仪）： 块状不导电样品： 纤维样品： 碳 胶 * * 降低探针电流可以减轻荷电效应 Ip=20pA 加速电压：7KV 样品：鼠小肠绒毛 Ip=2pA * glass BSE SE HV : 2kV Mag : 12kX Sample : TFT (FIB treated - non coating) 抑制SE获得BSE图像可以减轻荷电效应 * 降低加速电压可以减轻荷电效应 加速电压：1.5KV 样品：二氧化硅刻蚀器件 加速电压：0.7KV * 改变拍照模式可以减轻荷电效应 慢扫拍照：40 sec 样品：二氧化硅微球 积分拍照：64 frames * 使用下探头可以减轻荷电效应 信号：SE(U) 样品：复合材料 信号：SE(L) * 消除荷电现象的电镜参数设定 在不喷镀金属层（使用离子溅射仪等）的情况下： 1 降低加速电压或使用减速模式 2 减少照射电流 3 改变接受信号 4 改变Capture条件 5 制样技巧 High模式转成Normal模式 减小发射电流Ie值 使用小的物镜光阑孔（正常拍照用2或者3号孔） 增大Condense Lens 1的值 1) 加快Capture 80s →40s →20s 2) CSS Scan 模式 3）积分拍照模式 1) 使用下探头接受信号 2) 使用