微机械系统技术与发展动力学.ppt

振动、冲击、噪声国家重点实验室 4.7 电磁薄膜微电机振动测试实验分析(Ⅳ) 6mm 电机振动特性 63.8 Hz 27.5 Hz 8.8 Hz 振动、冲击、噪声国家重点实验室 4.7 电磁薄膜微电机振动测试实验分析(Ⅴ) 2mm 电机振动特性 35.0 Hz 28.8 Hz 6.3 Hz 51.3 Hz 摩擦影响越来越严重! 概要 (Outline) 振动、冲击、噪声国家重点实验室 微机电系统的基本概况 MEMS动力学问题研究 微转子动力学问题研究 若干动力学问题的研究 MEMS动力学研究展望 5 MEMS动力学研究展望(Ⅰ) 建立MEMS的基础理论体系 研究微型执行器动力学特性 研制新MEMS动力驱动系统 提出新设计和加工制造工艺 实现对MEMS的智能化控制 开发MEMS的实验检测系统 拓宽MEMS的实际应用领域 培养MEMS相关的专业人才 MEMS研究展望 振动、冲击、噪声国家重点实验室 5 MEMS动力学研究展望(Ⅱ) 微转子动力学研究展望 微旋转动力机械的研究 多种驱动方式微旋转机械的研制；设计与加工制造方法的创新；微轴承的动力 润滑特性研究；微转子系统可靠性分析；实验检测系统的开发等 微流体理论和技术的研究 微型流动系统的研究和开发；微流体动力学方程建立和流动规律的研究；微尺 度流动的表面效应、输运特性和动力特性的研究；微流体动力