第5章二次离子质谱SIMS.pptVIP

SIMS ??二次离子发射规律 二次离子发射的理论模型 目前，人们已经提出了很多二次离子发射模型。有人把二次离子发射模型分为两大类：一类是二次离子在靶外形成，一类是二次离子在靶内形成。 次级离子形成示意图 SIMS ??二次离子发射规律 二次离子发射的理论模型-动力学模型 动力学模型在说明惰性气体离子对金属或合金靶的溅射时所经常被采用。其基本思想是入射离子通过级联碰撞把能量传给靶面的原子/分子或原子团，使得它们以中性粒子逸出，其中有些处于亚稳激发态。这些亚稳激发态粒子在几个?范围内通过Auger电子发射而去激发，形成正离子。 动力学模型的示意图 SIMS ??二次离子发射规律 二次离子发射的理论模型-断键模型 入射离子的轰击使化合物的键断裂，形成离子而发射到真空中去这就是断键模型。断键模型可以解释电负性强的元素作入射离子时，会使金属的正二次离子的产额增加。 SIMS ??二次离子发射规律 二次离子发射的理论模型-局部热平衡模型 Anderson认为，在入射离子的作用下，在靶面上形成了处于局部热平衡的等离子体，每种元素的原子 M0, M+和电子e处于热平衡 。LTE模型在SIMS定量分析方面曾取得了相当成功的结果，特别是对氧化物或富氧基体，但也遇到了一定的困难。 局部热平衡模型 SIMS ??分析方法 定