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第 卷 第 期 中 国 激 光 , ４６ 　 １０ Vol．４６ No．１０ 　 　 　 年 月 , ２０１９ １０ CHINESEJOURNALOFLASERS October ２０１９ 脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜 及其光电性能 ∗ , , , , , , , 莫观孔 刘家辉 邹卓良 唐子媚 刘宇伦 何欢 符跃春 沈晓明 , , 广西大学资源环境与材料学院 广西有色金属及特色材料加工重点实验室 广西 南宁 ５３０００４ ( ) , 、 摘要 采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌 透明导电薄膜 使用 射线衍射仪 紫外可见分 　 GZO X 、 , 、 光光度仪 原子力电子显微镜和霍尔测试系统 研究了氧气分压对 GZO薄膜晶体结构 微观形貌以及光电性能的 . : , ; , 影响 结果表明 所有的样品都表现出六方纤锌矿结构 并具有高度的 轴择优取向生长 薄膜表面致密光滑 晶 c , , ; 粒尺寸随氧气分压增大而先增大后减小 当氧气分压为 ０．５Pa时 薄膜的结晶性最佳 沉积的GZO薄膜在可见光 , ; , 区域表现出高于 ９１．９７％的透过率 且禁带宽度在 ３．４９２~３．５７６eV之间 随着氧气分压增大 载流子浓度与霍尔迁 －４ , , , , . 移率先增加后减小 电阻率先减小后增大 当氧气分压为 时 薄膜的电阻率最低 为 ０．５Pa GZO ２．９５×１０ Ωcm ; ; ; ; ; 关键词 薄膜 脉冲激光沉积法 氧气分压 掺镓氧化锌薄膜 光学性质 电学性能 　 中图分类号 文献标识码 : / 　O４