微惯精品性技术发展现状跟未来趋势讲义(ppt 39页).pptVIP

微机械陀螺国内外研究现状 国外：如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司，日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家，已有商业化产品。 国内：有北京大学、清华大学、复旦大学、哈尔滨工业大学、中科院上海微系统所、中北大学等，都对陀螺进行了深入的研究，取得了一定的成果，但无商业化产品，处于研究阶段。 德国Bosch公司 芬兰赫尔辛基工业大学 土耳其安卡拉中东科技大学 日本Murata Mfg.Co 美国Michigan大学 单位 结构特点 检测机理 灵敏度/分辨率 噪声/漂移 美国 Michigan大学 振动环式 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.5?/s 7.2?/h 日本 Murata Mfg.Co 独立梁式 电容驱动 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.07?/s / 土耳其安卡拉中东科技大学 电容驱动3mm×3mm 电容检测 真空24mV/o/s 大气100μV/o/s / 芬兰 赫尔辛基工业大学 框架式 角振动 电容检测 信噪比51.6dB 德国Bosch公司 双质量块 电磁驱动 电容检测 18mV/?/s 量程为100o/s 国外微机械陀螺的特点与性能指标 北京大学、清华大学、复旦大学，中科院上海微系统所 单位 结构特点 检测机理 灵敏度 噪声/漂移 北大 谐振式 电容检测 22mv/°/s 清华