五洁净室设计（精品）说课讲解.ppt

5.8 电子行业FFU设计 5.8.1 电子行业洁净室的特点（5个） (4)新风量大，换气次数高; 电子产品制造过程中需使用有毒的化学品，会产生有毒废气——为保持正压和卫生要求，需补充大量新风； 为保证高洁净度，需较高的换气次数。同时室内气流速度不能太大，一般在0.4m/s以下。 * 5.8 电子行业FFU设计 5.8.1 电子行业洁净室的特点（5个） (5)洁净室空调冷负荷大且湿负荷很小； 电子洁净室通常位于建筑中部，围护结构得热小，但工艺设备散热量大——全年需供冷； 洁净室内一般无散湿源，人员也密封在防尘服中（人员散湿很小）——湿负荷小； 为减少静电，回风处理不能减湿 * 图5-20干盘管—FFU系统洁净室 * 5.8 电子行业FFU设计 5.8.2 FFU洁净空调系统 排数少，面速低，水温12~17℃ ≥tL_——干盘管 初效过滤器 预热器(冬开） 表冷器（夏开，冷却减湿） 再热器 中效过滤器 N O N H N W L N O FFU加压 ε 图5-22 FFU系统热湿处理过程 * 5.8 电子行业FFU设计 图5-21 FFU系统热湿处理过程在焓湿图上的表示 干盘管——FFU系统与其他方式相比有以下几个优点： (1)灵活性大，布满率高——可根据工艺变化做区域性调整（调节FFU风量），满布率可达85.5% (2)FFU上部顶棚为负压起负压密封的作用——