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2.4.3 集成电路生产工艺 1.掩模版图生成 一个异或门版图设计 一个异或门电路设计 2.4.3 集成电路生产工艺 一般晶圆上的每层电路需要4个掩模图 2.4.3 集成电路生产工艺 掩膜光刻工艺 2.4.4 集成电路封装形式 1. DIP封装(双列直插式) 2.4.4 集成电路封装形式 2. TSOP封装(薄型小尺寸封装) 2.4.4 集成电路封装形式 3.FBGA封装(反转球形栅格封装) DDR3内存采用FBGA封装形式 2.4.4 集成电路封装形式 FBGA封装 课程作业与讨论 讨论: (1)有可能制造出柔性电路板吗 ? (2)电路板中电子元件越多越好? (3)集成电路芯片最大的缺点是什么? (4)时钟32.768kHz =215=[1000 0000 0000 0000]2 。。。。。。。 【本章结束】 * 教学讨论: (1) (2) (3) * 教学讨论: (1) (2) (3) * 教学讨论: (1) (2) (3) * 教学讨论: (1) (2) (3) * 教学讨论: (1) (2) (3) 【补充】PCB元件布局原则 易受干扰的元器件不能相互靠得太近。 输入/输出元件应尽量远离。 去耦电容位置尽可能靠近IC的电源口。 电容尽可能远离发热区域。 【补充】PCB电磁兼容设计 电磁兼容(EMC) 指设备在电磁环境中正常工作,且不对该环境中的任何事物构成不能承受的电磁干扰的能力。 3W规则 当传输线间距大于3倍线宽时,可保证70%的电场不互相干扰。 如要达到98%的电场不互相干扰,可使用10W间距。 消除地线干扰 利用隔离变压器切断地环路电流。 利用光隔离器切断地环路。 利用共模扼流圈。 数字电路可用地线组成一个回路。 【补充】PCB电磁兼容设计 微带线之间的3W布线原则 带状线 微带线 微带线 2.4 集成电路制造工艺 2.4.1 CMOS电路工作原理 1.MOS晶体管结构 接口端: 栅极(Gate)、源极(Source)、漏极(Drain)。 源级S 漏级D 栅级G 源级S 漏级D 栅级G 导电沟道 隔离层 导线 隔离层 2.4.1 CMOS电路工作原理 N沟道增强型MOS晶体管 P N N G S D G S D 金属导线 SiO2隔离层 N区 导电沟道 P型基底 2.4.1 CMOS电路工作原理 栅极 栅极采用多晶硅材料; 栅极控制漏极与源极之间的电子的流动。 隔离层 采用二氧化硅(SiO2)作为绝缘材料; 保证栅极与基底之间的绝缘,阻止栅极电流产生。 源极和漏极 采用N型高浓度掺杂半导体材料; 形成自由载流子(电子和空穴)。 基底 采用P型硅作基底材料; 保证N区与硅基底之间的绝缘。 2.4.1 CMOS电路工作原理 工作原理 MOS晶体管本质上是一个电压控制的电阻器。 MOS晶体管的开关状态,由栅极电压VGS控制。 施加在栅极与沟道之间的电压(栅-源电压)决定着沟道内自由载流子(电子和空穴)的浓度,从而控制源-漏电流。 漏-源电压控制电流的流向。 MOS晶体管的源极与漏极完全对称,只有根据电流的流向才能确认源极与漏极。 2.4.1 CMOS电路工作原理 2.MOS晶体管的导通状态 在栅极施加正电压VGS; 硅基底会感应出等量的负电荷; 继续增加栅极电压VGS,就会形成导电沟道; 电子积累到一定水平时,会形成运动的电荷; 源极区的电子会通过导电沟道,到达漏极区; 这时会形成由源极流向漏极的电流; 这时MOS晶体管处于导通状态; 可以设定晶体管导通状态为逻辑“1”。 2.4.1 CMOS电路工作原理 3.MOS晶体管的截止状态 当控制端栅极没有触发电压时,电流无法从源极流向漏极; 晶体管处于“关闭”状态; 可以设定晶体管关闭状态为逻辑“0”。 2.4.1 CMOS电路工作原理 4. CMOS电路结构 CMOS电路由PMOS晶体管和NMOS晶体管互补配对组成。 任何时候都只有一个MOS晶体管导通,另一个必然关闭。 CMOS反相器原理 CMOS反相器结构 2.4.1 CMOS电路工作原理 理论上CMOS电路的静态功耗为0,但是受材料和制造工艺的限制,CMOS电路的实际功耗不能忽略不计。 在CMOS电路中,NAND(与非门)、NOR(或非门)是最基本的逻辑电路,其他逻辑电路都可以通过它们之间的相互组合进行设计。 在集成电路中,一般般尽量采用“或非门”构造PMOS和NMOS电路。 2.4.1 CMOS电路工作原理 【补充】“或非门”构造的PMOS和NMOS电路 PMOS管 NMOS管 2.4.2 集成电路制程线宽 1. MOS晶体管沟道长度 沟道长度(物理栅长)是电流从源极(S)流到漏极(D)经过的距离。 垂直于沟道长度的源漏区称为沟道宽度
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