batio3和srtio3薄膜生长初期化学分子反应机理.pdfVIP

第24卷第 lO期 化 学 研 究 与 应 用 Vo1．24，No．10 2012年 lO月 ChemicalResearchandApplication Oct．，2012 文章编号：1004-1656(2012)10—1528-06 BaTiO3和 SrTiO3薄膜生长初期化学分子反应机理 梁晓琴 ，张 妹 ，黄 平2，杨 春2 (1．四川师范大学化学与材料科学学院，四川 成都 610068； 2．四川师范大学可视化计算与虚拟现实四川省重点实验室，四川 成都 610068) 摘要：本文采用B3LYP密度泛函方法，研究了BaO、SrO与TiO：形成BaTiO3、SrTiO3及TiO2二聚形成Ti2O。的 微观反应机理，获得了相应的中间体、过渡态及反应活化能。采用 自然键轨道NBO方法分析了反应过程中各 中间体和过渡态的成键情况、轨道闯的相互作用以及原子的电荷。计算结果表 明，形成 BaTiO3、SrTiO3和 Ti：o4反应活化能分别为 16．3、17．3和9．6kJ／mol，TiO 形成二聚体活化能相对较小，从理论上解释了实验过 程中观测到TiO2二聚体；但SrO、BaO和TiO2形成 BarriO3、SrTiO3的反应过程中，形成最初的稳定中间体时分 别放热484．7和534．7kJ／mol，且活化能较低，轨道间相互作用较强，静电引力作用显著 ，有利于SrTiO，和Ba- TiO，薄膜生长初期以TiO：为中心，结合BaO和SrO成核生长，从而有利于单元胞的进一步形成。 关键词 ：无机材料；反应机理 ；BaTiO3；SrTiO3；TiO2二聚体 中图分类号：0641．12 文献标识码：A Reactionmechanism ofchemicalmoleculesinearly growthofBaTiO3andSrTiO3thinfdms LIANG Xiao．qin，“ ZHANG Shu ，HUANG Ping ，YANG Chun ， (1．DepartmentofChemistrynadMaterialScience，SichuanNormalUniversity，Chengdu610068，China； 2．VisualcomputingnadvirtualrealitykeylaboratoryofSichuanprovince，SichuanNormalUniversiyt，Chengdu610068，China) Abstract：Densityfunctionaltheory(Drr)isappliedtostudymicroscopicreactionmechnaismoftheformationofBaTiO3andSt- TiO3byBaO，SrOnadTiO2moleculesandTi2o4bytwoTiO2molecules．Thereactionintermdeiates，trnasitionstatesnadactivation energieshavebeenobtained．NBO isusedtonaalyzebondingprocess，orbitalinteractionsnadatomicchargesinintemr ediatesand transitionsattesofthereactionprocess．Th ecalculatde resultsshowactivationenergiesoftheformationofBaTiO3，SrTiO3andTi2O4 arerespectively16．3，17．3and9．6kJ／mo1．ActivationenergiesofTi2O4isrelativelylower，TiO2dimerobservde intheexperiment canhteoreticallybeexplained．Ho