材料分析2-6 电子探针显微分析.pptVIP

* 第 6 章　电子探针显微分析 电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。 JXA-8100/8200 Electron Probe Microanalyzer Detectable element range 5B to 92U (4Be to 92U *1) Detectable wavelength range 0.087 to 9.3nm Number of WDS X-ray spectrometers 1 to 5 selectable (full scanner type) Specimen size (maximum) 100mm × 100mm × 50mm (H) *2 ? 90mm × 90mm *2 Specimen stage drive speed 15mm/s *2 Accelerating volta