材料分析测试 第九章 扫描电子显微分析与电子探针.pptVIP

第九章 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 第二节 像衬原理与应用 第三节 电子探针X射线显微分析 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 二、构造与主要性能 2. 偏转系统 3．信号检测放大系统 作用：收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大。 不同的物理信号，要用不同类型的收集系统（探测器）。 二次电子、背散射电子和透射电子的信号都可采用闪烁计数器来进行检测。 4．图像显示和记录系统 作用：将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像，供观察或记录。 记录：荧光屏，照相机，计算机。 6．真空系统 作用：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命、防止极间放电等。 真空度：一般1.33×10-2~1.33×10-3Pa (10-4~10-5mmHg，Torr ) 高真空 ~1.33×10-8Pa 环境扫描电镜 (ESEM ) ：1~ 20Torr ，非常接近大气环境 ，但不等同于平均 760Torr的大气环境。 非导电样品、生物样品、活体样品、含水样品等。 可安装低温冷台、加热台等进行样品的动态观察和分析 。 7. SEM的主要性能 （1）放大倍数