第九章 半导体式传感器.pptVIP

9.4 色 敏 传 感 器 9.4 半导体式传感器的应用 9.3 湿敏传感器 湿度：空气中水汽的含量 应用领域： ? ＊工农业 ? ＊气象 ? ＊环保 ? ＊国防 ? ＊科研 ? ＊航空航天 绝对湿度(Absolute humidity) ? 绝对湿度是指单位体积的湿空气中所包含的水蒸汽的质量，也就是空气中水蒸汽的密度。一般用kg/m3或g/m3作单位，即一立方米湿空气中所含水蒸汽的千克数或克数。 基本概念: 干空气与湿空气： （Dry air and Wet air） ? 通常把不包含水汽的空气称为干空气，把包含干空气与水蒸汽的混合气体称为湿空气。 道尔顿部分压力定律 (Daltons partial pressure law) ? 在常温常压下，一定体积混合气体的压力，等于其各组成成分分别单独在相同体积内产生的部分压力之和。 饱和蒸汽压 （Saturation pressure of water vapor） ? 由饱和蒸汽产生的部分压力，称为该温度下的饱和蒸汽压。饱和蒸汽压仅与空气的温度有关，不受压力影响. 饱和蒸汽压计算的经验公式 ? 露点与霜点: （Dew Point and Frost Point） ? 湿空气在气压不变条件下使其所含水蒸汽达到饱和状态时所必须冷却到的温度称为露点温度或露点。若露点温度低于0℃，水汽实际将凝结成霜， 称为霜点温度或霜点。 湿度计（Hygrometer）: ? 湿度计是用来测量湿度的仪器或装置。由于湿度受温度的影响很大，湿度的测量常常伴随着对温度的测量。同时测量温度和湿度的装置叫温湿度计。 最 新 湿 度 测 量 应 用 领 域 为什么要测量湿度? 温湿度变送器 h, T x 室 内 空 气 质 量 100% rH 贮 存 / 催 熟 生 产 空 气 质 量 烘 干 过 程 耗费最低的能量 达到 / 保持成品的最佳品质 让设备高效率地进行生产 - 更舒适 更高的工作效率 使产品或原材料达到最佳品质 LiCl是易吸潮的物质，吸潮后电阻变小，在干燥环境中又会脱潮而电阻增大。利用这一特性，用两根钯丝作为电极．按相等间距平行绕在聚苯乙烯筒上，再以水溶液与皂化聚乙烯醋酸涂敷后制成敏感元件。 不同浓度的LiCl涂料适合不同的相对湿度范围，如图所示。多个这样的湿敏元件依次切换，便可扩大相对湿度的测量范围、 这种测湿原理是1938年由顿蒙(Dunmon)发明的，故有顿蒙传感器之称。 9.3.1 氯化锂湿敏电阻 RH 0 30% 60% 90% R/ 0.01 0.1 1 10 0.25% 0.5% 2.2% 1% LiCl 湿敏元件特性 后来出现玻璃基板(多孔无碱破璃)两端嵌以金箔，再浸以Lic1溶液，干燥后成为湿敏元件。这种传感器误差可在+5％以内。 氯化锂湿敏电阻属电解质湿敏电阻，利用物质吸收水分子而导电率发生变化检测湿度。 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl以正负离子的形式存在，锂离子（Li+）对水分子的吸收力强，离子水合成度高，溶液中的离子导电能力与溶液的离子数目成正比，当溶液置于一定湿度场中，若环境RH上升，溶液吸收水分子使导电离子数目增多，电阻率ρ下降。反之环境RH下降，电阻率ρ上升。 氯化锂湿敏元件的优点是滞后小, 不受测试环境风速影响, 检测精度高达±５%, 但其耐热性差, 不能用于露点以下测量,否则Licl会流失。器件性能的重复性不理想, 使用寿命短。 Licl元件的电源必须用交流电，以免出现极化。应防尘防油污。 氯化锂湿敏电阻 9.3.2 半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻通常用两种以上的金属— 氧化物—半导体烧结成多孔陶瓷，材料有正湿度 系数和负湿度系数两种。 陶瓷的化学稳定性最好．且耐高温，便于采用加热法去除油污。多孔陶瓷的表面面积大，易于吸湿和去湿，响应时间短。 1. 负特性湿敏半导瓷 负湿敏特性半导体瓷湿敏电阻，电阻随湿度增加而下降。由于水分子中氢原子具有很强的正电场，当水分子在半导体瓷表面吸附时可能从半导体瓷表面俘获电子，使半导体表面带负电，相当于表面电势变负，电阻率随湿度增加而下降。 正湿敏特性半导体陶瓷湿敏电阻（例：Fe3O4），材料结构、电子能量状态与负特性不同，电阻值升高没有负特性湿敏电阻阻值下降的明显。 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 3. 典型半导瓷湿敏元件 （1）MgCr2O4-TiO2湿敏元件： 氧化镁复合氧化物-二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷型“湿-电”转换器件, 它是负特性半导瓷, MgCr2O4为Ｐ型半