CMOS的制造(工艺)流程图.docVIP

. . .. . . . 专业 专注 . CMOS反相器的制造工艺流程 院系：交通科学与工程学院 学号: 姓名 ： 姬勃 2013年12月9日摘　　要：虽然集成电路制造工艺在快速发展,但始终都是以几种主要的制造工艺为基础。文章介绍了 CMOS反相器的主要工艺流程,并对集成电路的主要制造工艺作了简要分析。 关 键 词： CMOS反相器 、工作原理、工艺流程 CMOS反相器 介绍 CMOS反相器由一个P沟道增强型MOS管和一个N沟道增强型MOS管串联组成。通常P沟道管作为负载管，N沟道管作为输入管。这种配置可以大幅降低功耗，因为在两种逻辑状态中，两个晶体管 中的一个总是截止的。处理速率也能得到很好的提高，因为与NMOS型和PMOS型反相器相比，CMOS反相器的电阻 相对较低 1.1工作原理 　　两个MOS管的开启电压VGS(th)P0， VGS(th)N?0，通常为了保证正常工作，要求VDD|VGS(th)P|+V?GS(th)N。若输入vI为低电平(如0V)，则负载管导通，输入管截止，输出电压接近VDD。若输入vI为高电平(如VDD)，则输入管导通，负载管截止，输出电压接