位移传感器概述.pptxVIP

位移检测 位移是物体上某一点在一定方向上的位置变动，因此位移是矢量。测量方向与位移方向重合才能真实地测量出位移量的大小。若测量方向与位移方向不重合，则测量结果仅是该位移量在测量方向上的分量。 位移测量从被测量来的角度可分为线位移测量和角位移测量；从测量参数特性的角度可分为静态位移测量和动态位移测量。许多动态参数，如力、扭矩、速度、加速度等都是以位移测量为基础的。一、长度及线位移检测1、电感式位移传感器W---线圈匝数Rm---磁路总磁阻li---各段导磁体的长度ui---各段导磁体的磁导率Ai---各段导磁体的截面积铁芯差动式线圈衔铁一、长度及线位移检测电感位移传感器—基本形式(1) 变气隙式思考：灵敏度？ 线性度？ 改进方法？(2) 变面积式(3) 螺管式一、长度及线位移检测(2) 变面积式蔡萍教材P40 图3-5(3) 螺管式一、长度及线位移检测电感位移传感器意大利Marposs:一、长度及线位移检测电感位移传感器中国中原量仪:一、长度及线位移检测2、光栅位移传感器（Grating）一、长度及线位移检测(1) 光栅传感器原理 (莫尔条纹) 构成：主光栅---标尺光栅，定光栅；指示光栅---动光栅主光栅叠合夹角移动明暗相间条纹莫尔条纹指示光栅W-栅距， a-线宽， b-缝宽条纹宽度： W=a+b ，a=b=W/2 一、长度及线位移检测莫尔条纹特性： 方向性：垂直于角平分线 → 与光栅移动方向垂直同步性：光栅移动一个栅距 → 莫尔条纹移动一个间距放大性：夹角θ很小 → BW → 光学放大 → 提高灵敏度准确性：误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 一、长度及线位移检测(2) 光栅传感器特点 ①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″②量程大：透射式---光栅尺长（1米），反射式---几十米③响应快：可用于动态测量④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度⑥成本高：电路复杂 一、长度及线位移检测(3) 光栅传感器结构 1 – 主光栅尺（定光栅）2 – 指示光栅（动光栅）3 – 光电元件4 – 透镜5 – 光源透射式结构：光源 → 指示光栅 → 透射 → 主光栅 →光电元件反射式结构： 光源 →主光栅 → 反射 →指示光栅 →光电元件一、长度及线位移检测(4) 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）：封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m开放式：量程270mm 分辨力1nm开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m一、长度及线位移检测英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意分辨力： 0.1 ?m 0.01 ?m中国长春光机所： 量 程：1000mm分辨力：0.01 ?m精 度：2 ?m一、长度及线位移检测2、光学干涉（Interference）干涉原理（单频干涉）：两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取决于两束光间的相位差Δφ 亮条：Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相长干涉 暗条：Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相消干涉一、长度及线位移检测结构：观察屏、光电接收固定反射镜光源半透半反镜被测物体实现要点:（1）单一光源（2）被测物体（3）光电接收（4）分光镜（半透半反）（5）固定参考反射镜一、长度及线位移检测双频激光干涉位移传感器测量原理： 激光器发出一束激光，含有两束偏振光： 左旋光，频率f1 右旋光，频率f2， 振幅相同， 频率相差约2MHz。f1→角锥棱镜f1±Δf1渥氏棱镜测量光束λ/4波片f2→光电检测激光束分光器f2-(f1± Δf)参考光束光电检测参考信号测量信号f2-f1±Δf一、长度及线位移检测激光干涉位移传感器HP5528A Laser interferometer：量程：100m分辨力： 0.01 ?m二、角度及角位移检测1、绝对码光电编码器组成：光源、码盘、光电元件 原理：平行光源→码盘→ 光电元件→电信号输出 码盘：光学玻璃，透光/不透光→ 照相腐蚀 要求：分度准确（工艺）、阴暗交替边缘陡峭（工艺、材质）光源：LED → 光学系统 → 平行光 → 投影精确 光电元件：硅光电池，光电晶体管 滞后 → 响应速度 码道：位数→每个码道对应一个光电元件→分辨率 角度分辨率：α=360o/2n n-码道数（位数） 增加码道、增大码盘尺寸 → 有限提高精度光学细分 → 附加码道二、角度及角位移检测测量电路：放大 → 足够电平 ，驱动整形 → 接近理想方波 细分 → 提高分辨率（光学+电路）编码码制：十进制码 --- 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 读数直观，不易电路处理二进制码 --- 0000 0001 0010 001