刻蚀工艺介绍.pptxVIP

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2020-01-30 发布于上海
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刻蚀工艺介绍.pptx

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刻蚀工艺介绍辛小刚刻蚀原理介绍刻蚀主要工艺参数刻蚀液更换频率的管控刻蚀不良原因分析刻蚀原理介绍刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的 Metal/ITO膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需要的图形。刻蚀种类目前我司的刻蚀种类主要分两种： 1、Metal刻蚀刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。 Metal：合金金属 2、ITO刻蚀刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。 ITO：氧化铟锡（混合物） Metal刻蚀前后： ITO刻蚀前后：刻蚀前后对比照片主要工艺参数刻蚀液更换频率的管控作业数量管控：每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。作业时间管控：由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。首片和抽检管控：作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约25min）。刻蚀不良的产生原因 1、大面积刻蚀不干净： -------刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。 2、刻蚀不均匀： -------喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。 3、过刻蚀： -------刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。追求卓越、持续创新