扫描电镜和电子探针的原理和应用.pptxVIP

现代测试技术课题论文扫描电镜和电子探针在 材料科学中的应用 指导老师：bbgcka 班 级：ssrhjh 姓 名：trsyrw 目 录1、背景2、工作原理 （1）扫描电镜的工作原理 （2）电子探针的工作原理3、应用 （1）扫描电镜的应用 （2）电子探针的应用4、参考资料1、背 景 扫描电子显微镜和电子探针由于其制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，故被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。它们在材料科学中有着广泛的应用，在实际应用中也有着一定的区别。 扫描电子显微镜背 景 电子探针是电子探针 X 射线显微分析仪的简称，英文缩写为EPMA(Electron probe X-ray microanalyser)，扫描电子显微境英文缩写为 SEM（Scanning Electron Microscope）。这两种仪器是分别发展起来的，但现在除专门的电子探针外，大部分电子探针谱仪都是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜上，与电镜组成一个多功能仪器以满足微区形貌、晶体结构及化学组成的同位同时分析的需要。 由于 EPMA 与 SEM 设计的初衷不同，所以二者还有一定差别，例如 SEM 以观察样品形貌特征为主，电子光学系统的设计注重图像质量，图像的分辨率高、景深大。现在钨灯丝 SEM 的二次电子像分辨