- 1、本文档共49页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
俄歇电子能谱
Auger Electron Spectrometry (AES)
俄歇电子能谱虽然早在1925年(法)P.Auger 已经在
Welson云雾室观察到俄歇电子的迹径,并且正确地解释
了这种电子的来源,但直到六十年代末在解决了俄歇信
号检测和分析问题后,才有可实际用来进行表面分析的
俄歇谱仪。七十年代,出现了扫描俄歇,性能不断改
善,成为微区分析的有力工具。
在俄歇电子能谱仪中,一束电子射到样品表面。根据
从样品表面发射的俄歇电子的能量,可以确定表面存在
什么元素; 根据发射俄歇电子的数量,可以确定元素在
表面的含量。
俄歇电子:在入射电子激发样品的特征x射线过程
中,如果在原子内层电子能级跃迁过程中释放出来
的能量并不以x射线的形式发射出去,而是用这部
分能量把空位层内的另一个电子发射出去(或使空位
层的外层电子发射出去) ,这个被电离出来的电子称
为俄歇电子。
二次电子 俄歇电子 俄
歇
N
电
M 子
发
入射一次电子 L 生
机
K 理
当电子照射到固体试样表面时,原子的内层电子(K层)作
为二次电子放出,留下一个空穴,高能级L 的电子将落下
来填补空穴。与此同时,(1)放出具有Ek–EL能量的特征X
射线及(2)放出具有Ek–2EL能量的电子。在(1)的情况下,
给出了X射线显微分析所需信号(如EPMA测定) ;在(2)的
情况下,称为俄歇电子的KLL转移。
即:样品表面原子受到电子束的轰击而电离,在电
离原子的退激发过程中会释放出俄歇电子,这种电
子具有对应于元素种类的固有能量,如:KLL俄歇
电子能量
E = E −2E
KLL K L
E 、E 分别为K、L能级的结合能
K L
AES 的特点
(1) 极薄表面层的元素分析(可分析深度在2nm 以内)
(2) 分辨率高,有很高的微区分析灵敏度;
(3) 也可进行化学结合状态的测定;
(4) 易于其它方法结合,可进行三维扫描(成像):
如:AES一XPS组合可了解原子的键合状态;
AES一LEED(低能电子衍射) ,不仅能测定元素种
类,也能测定原子的排列;
(5) 对样品表面要求不严格
(6) 利用离子枪的刻蚀功能可进行深度分析
AES 的特点
谱线复杂;
定量分析还有困难;
样品表面易损伤:二次电子过程会对样品表面损伤,使
其信息量减少,这种损伤对有机材料尤其严重。对有机材料最
多的应用是采用AES与离子溅射并存的方法来分析纵深的剖面
图。
存在电子束引起的干扰:绝缘体样品表面易带电,特
别是进入和离开样品的为大功率电子通量,须快速将过甚电荷
泄放,否则样品电势的变化将使俄歇线的能量出现严重错误。
扫描电源 数据收取
您可能关注的文档
最近下载
- JB_T 10295-2014 深松整地联合作业机.pdf
- 清产核资审计报告模板(范文).pdf
- 教育部2024年专项任务项目(高校辅导员研究)申请评审书《大学生“社恐”现象的心理机制与有效应对研究 》.docx VIP
- GB∕T 15115-2024 压铸铝合金GB∕T 15115-2024 压铸铝合金.pdf
- 第六届(2024年)“信用电力”知识竞赛活动总试题库-上(单选题汇总).docx
- 庄子(最完整的版本).pdf
- 《我爱这土地》PPT课件.ppt
- 雷雨-剧本原文-高中语文雷雨剧本原文.docx VIP
- 国家开放大学《人体解剖生理学》形考任务1-4附参考答案.pdf VIP
- 瑜伽社团总结PPT.pptx VIP
文档评论(0)