Q_HTTC 001-2019碳化硅外延片.pdf

Q/HTTC 瀚天天成电子科技 （厦门）有限公司企业标准 Q/HTTC001-2019 碳化硅外延片 Silicon CarbideEpiWafers 2019-01-01发布 2019-01-01实施 瀚天天成电子科技 （厦门）有限公司 发布 Q/HTTC 001—2019 前  言 本公司生产的产品是碳化硅外延片，该类产品现在国内尚无国家标准和行业标准，从目前市场出发， 根据国外同行业成熟公司的企业产品需求，制定出本企业标准，做为组织生产和检验产品的依据。其中 的各项技术要求将随企业的技术进步及产品的改进而修改。 本标准严格按照GB/T1.1 《标准化工作导则第 1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。 本标准附录A为规范性附录。 本标准由瀚天天成电子科技 （厦门）有限公司提出。 本标准由瀚天天成电子科技 （厦门）有限公司质量部组织起草。 本标准主要起草人：陈志霞 本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。 I Q/HTTC 001—2019 碳化硅外延片 1 范围 本标准规定了碳化硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、储存 等。 本标准适用于在N型碳化硅抛光片衬底上生长的n型外延层 （N/N ）和在p型碳化硅抛光片衬底上生长+ 的p型外延层 （P/P ）的同质碳化硅外延片。产品主要用于制作碳化硅半导体器件。其他类型的碳化硅外+ 延片可参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第一部分：按接受质量限 （AQL）检索的逐批检验抽样计划 （GB/T 2828.1—2003，ISO 2859-1：1999，IDT） GB/T 14246 半导体材料术语 3 技术要求 3.1 产品分类 3.1.1 导电类型 产品按导电类型分为n型和p型。 3.1.2 规格 产品按直径尺寸分为76.2mm、100mm、150mm。 3.1.3 外延片晶向 产品按晶型分为4H，6H。 3.1.4 外延片晶向 产品按晶向分为0º，4º，8º。 3.1.5 产品牌号 产品牌号表示为： 2 Q/HTTC 001—2019 EW × × × × - × × 1：＜10µm 2:10µm≤×＜20µm