Q_0510JCAPCI210014-2019自动搬送系统设备模型规范.pdf

Q/JCAP 江阴长电先进封装有限公司企业标准 Q/0510JCAPCI210014-2019 江 阴 长 电 先 进 封 装 有 限 公 司 自动搬送系统设备模型规范 SPECIFICATION FOR INTERBAY/INTRABAY AMHS SEM (IBSEM) I 2019-10-25 发布 2019-10-25 实施 江 阴 长 电 先 进 封 装 有 限 公 司 设备模型自动搬送系统规 目 次 前言 III 引言 IV 1 范围 5 2 规范性引用文件 5 3 术语 5 4 缩略语 7 5 通讯需求 8 6 状态模型 8 7 事件收集列表 16 8 变量数据项 19 9 报警清单 26 10 远程命令 27 11 脚本程序 30 12 GEM 功能 31 13 通知与相关信息 32 参考文献 34 II 前 言 本标准由江阴长电先进封装有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司提出。 本标准起草单位：江阴长电先进封装有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司 本标准主要起草人：章志明、尹作重、任建勋、司家顺 III 引 言 本标准通过定义由工厂自动化控制器(主机)查看IBSEM设备的操作模型来促进IBSEM设备与自动化 (如半导体制造和平板显示器)工厂的集成。该定义提供了一个标准的主机接口和若干设备操作行为(例 如，控制、状态模型、数据报告和报告级别)。有些操作行为需要在本标准范围内的额外活动：流量管 理特性（排队），载体传输的并行接口（SEMI E23），传输系统控制器架构以及传输单元的交付。 IV GB/T XXXXX—XXXX 自动搬送系统设备模型规范 1 范围 本标准的适用范围仅限于符合GEM模型的 SEMI 通信标准2 (SECS-II)主机所感知到的 自动搬送系统设备模型 (OHT、OHS、RGT、AGT、DWC)的使用和描述(见第12章)。它通过SECS 通信链路定义设备的视图，但没有定义设备的内部操作。它以一个特定的传输命令状态模型 和传输系统控制器状态模型为该类设备的基础。 本标准假设GEM基本需求和选定的附加功能(如第12章中指定的)已经在IBSEM设备上实 现。它在状态模型(TSC、传输命令、车辆和载体状态模型)、收集事件、警报文档、远程命 令、数据项变量和物料移动方面扩展了GEM标准需求和功能。 本标准无意解决与使用本标准有关的任何安全问题。本标准的使用者有责任在使用前建 立适当的安全和健康规范，并确定法规限制的适用性。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本 适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 半导体制程设备安全准则E4 -设备通信标准1报文传输(SECS-I) 半导体制程设备安全准则E5-标准2报文内容(SECS-II) 半导体制程设备