溅射法制VN培训讲学.ppt

* * * * 溅射法制VN 溅射法制VN VN的应用 溅射法 VN的溅射法制备 application of VN surface coatings Supercapacitor material Industrial catalyst known for its selectivity and stabilit 2 The reversible conversion reaction of VN into metal V and Li3N. 3 The high reversible capacity . 取VN做锂离子电池正极材料的原因 4 Good stable cycle of VN thin film electrode. 1 The capacity of VN was stable above 800mAhg?1 after 50 cycles. 溅射法 直流溅射 磁控溅射 射频溅射 直流电源制备 在被溅射的靶极(阴极)之间加一个正交磁场和电场，电场和磁场方向相互垂直 在直流溅射的装置中两电极之间接上交流电源。 易电离， 低压，双沉积，自偏压效应 均匀，重复，可控制 高电压，低速率 直流溅射： 靶材的制备 清洗基片 直流溅射氮化钒薄膜的流程 镀膜机的操作 退火处理 靶材的制备 粉末研磨 压靶 烧结 V2O5研磨罐磨 600r/mi 4h 20一30MPa 2℃/min的速度上升到500℃，保温5h， 以2℃/min的速度降低到室温。V2O5的熔 点为690℃，温度过高，时间过长，V2O5靶材就会 熔融掉。烧结后硬度比烧结前增大， 颜色由烧结前的浅黄色变为烧结后的砖红色。 清洗基片 l)先把载玻片置于烧杯中，放入普通商用洗衣粉，加入适量蒸馏水对载波片进行刷 洗。这样可以洗去可溶性物质，又可以使附着在衬底上的灰尘和其它不溶性物质 脱落。 2)把刷洗后的载玻片用蒸馏水洗净后放入洁净烧杯中，注入适量无水乙醇，并放入 超声仪器进行超声波振荡8一10mln。事毕取出用蒸馏水冲洗干净。 3)把无水乙醇换做去离子水，重复2)的过程，除去载玻片上的钾离子、钙离子等 金属离子。 4)把载玻片从去离子水中取出，用干燥氮气吹干，放入洁净的干燥瓶中备用。 直流溅射氮化钒薄膜的流程 H2还原V2O5 N2氮化成超微晶薄膜VN 直流溅射氮化钒薄膜的流程 制备薄膜工艺流程 镀膜机的操作 汤生放电 电晕放电 辉光放电 异常辉光放电 注： 在初次起辉时，可能由于反应室或工作气体不干净等因素使得反应室打火，这种情况功率不能提高，要及时清理 真空室。在正常工作时，电压不能加太大，特别是溅射非绝缘的金属靶，因为通常靶上所加功率为5~10w/cm2，功率极限约为 20w/cm2，所加功率不要超过极限值，否则 会毁坏溅射电源。 * * * *