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微电子基础知识和基本技能培训课程 哈尔滨工业大学微电子中心HIT Micro-Electronics Center2004年7月第一部分 集成电路基础知识 HIT Micro-Electronics Center2004年7月?1.1 CMOS集成电路器件基础 HIT Micro-Electronics Center2004年7月Metal GGOxide Vgb Vgb P_SubN_SubBBSemicondutorVgb ?0Vgb ?01.1.1 MOS结构（1）MOS结构的堆积状态（Accumulation Mode）HIT Micro-Electronics Center2004年7月GGDepletion RegionVgb Vgb P_SubN_SubBB0Vgb Vt0 Vgb Vt1.1.1 MOS结构（2）MOS结构的耗尽状态（ Depletion Mode ）HIT Micro-Electronics Center2004年7月GGInversion RegionVgb Vgb Depletion RegionP_SubN_SubBBVgb Vt Vgb Vt1.1.1 MOS结构（3）MOS结构的反型状态（ Inversion Mode ）HIT Micro-Electronics Center2004年7月GateGateSourceSourceDra