Q_JDC 034-2019钼靶材企业标准.pdf

Q/JDC 金堆城钼业股份有限公司企业标准 Q/JDC 034-2019 钼靶材 Molybdenum target 2019-10-20发布 2019-11-01实施 金堆城钼业股份有限公司 发布 Q/JDC 034—2019 前 言 本标准是按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草的。 本标准由金堆城钼业股份有限公司提出并归口。 本标准由金堆城钼业股份有限公司负责起草。 本标准起草人：付小俊、冯鹏发、王郭亮、王丽丽、卜春阳、张 敏。 I Q/JDC 034—2019 钼 靶 材 1 范围 本标准规定了溅射镀膜用钼靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存、质量证明书和订货单 （或合同）内容。 本标准适用于采用粉末冶金法和烧结-压力加工法制造的钼靶材，该靶材主要适用于光 伏太阳能面板、平面显示器和触摸屏面板制造等行业。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适 用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 3876 钼及钼合金板 GB/T 4196 钨、钼条密度测定方法 GB/T 4197 钨钼及其合金的烧结坯条、棒材晶粒度测试方法 GB/T 4325 (所有部分) 钼化学分析方法 3 技术要求 3.1 产品分类 产品按供货状态分为烧结态和压力加工态两类，其制造方法、供货状态见表1。 表1 制造方法 供货状态 烧结-机加工 烧结态 烧结－压力加工-再结晶退火-机加工 压力加工态 3.2 化学成分 靶材的化学成分应符合表2的规定。 3.3 密度 烧结态靶材的密度应大于9.6g/cm ；压力加工态靶材的密度应大于10.0g/cm 。3 3 3.4 晶粒尺寸 靶材晶粒尺寸应符合表3规定，并且晶粒分布均匀。 3.5 内部质量 靶材不应有分层、疏松、夹杂和气孔等内部质量缺陷，并满足客户要求。 3.6 尺寸及其允许偏差 靶材尺寸及其允许偏差应符合供需双方签订的技术图样要求，未注明公差的产品，矩形 靶材应符合GB/T 3876要求，管形靶材应符合GB/T 17792要求。 3.7 外观质量 靶材表面不允许有过熔、鼓泡、分层、裂纹、嵌入物等缺陷。 3.8 表面状况 机加工靶材的表面粗糙度Ra应不大于3.2µm，非机加工靶材由供需双方协商确定，并 在合同 （或订货单）中注明。 1 Q/JDC 034—2019 表2