精密测试（仪器）2误差.ppt

修正法、抵消法、半周期法消除周期性系统误差 * * * 二、制造误差 产生于制造、支配以及调整中的不完善所引起的误差。 主要由仪器的零件、元件、部件和其他各个环节在尺寸、形状、相互位置以及其他参量等方面的制造及装调的不完善所引起的误差。 差动电感测微仪中差动线圈绕制松紧程度不同，引起零位漂移和正、反向特性不一致。 测杆 铁芯 线圈 衔铁 工件 由于滚动体的形状误差使滚动轴系在回转过程中产生径向和轴向的回转运动误差。 测杆与导套的配合间隙使测杆倾斜，引起测杆顶部的位置误差。 测杆 导套 三、运行误差 仪器在使用过程中所产生的误差。如力变形误差、磨损和间隙造成的误差，温度变形引起的误差，材料的内摩擦所引起的弹性滞后和弹性后效，以及振动和干扰等 。 （一）力变形误差 由于仪器的测量装置(测量头架等)在测量过程中的移动，使仪器结构件(基座和支架等)的受力大小和受力点的位置发生变化，从而引起仪器结构件的变形。 摇臂式坐标测量 设横臂a×b＝50×200mm为的等截面梁，选用铝合金材料，长度l＝3000mm， l1＝400mm，测头部件的自重W＝200N。 图2—10 悬臂式坐标测量机原理图 1—立柱 2—平衡块 3—读数基尺 4—横臂 5—测头部件 6—z向测量轴 产生误差的原因 当测头部件位于横臂最外端A处和最里端B处时，由于测头部件的集中负荷在横臂上的作用点发生变化引起立柱和横臂的受力状态发生变化，引起横臂上A、B两点处的挠曲变形和截面转角变化，从而引起测量误差。 测头部件集中负荷 横臂自重均匀负荷 立柱所受转矩 当测头部件在最外端A处时 当测头部件在最内端B处时 l W q MA 图2—11悬臂式坐标测量机受力变形 测头部件从B点移到A点时，在测量方向Z向上引起的测量误差为 s＝1000mm时，阿贝误差为 （二）测量力 测量力作用下的接触变形和测杆变形也会对测量精度产生影响，引起运行误差。 灵敏杠杆 如图2-12设灵敏杠杆长为70mm，直径为约8mm，测球直径为4mm，测杆和被测零件材料同为钢，在测量力F=0.2N的作用下，将引起测球与被测平面之间的接触变形约为0.1?m。同时在此测量力的作用下，测杆的弯曲变形为约为0.54?m，这两项误差对万工显瞄准精度产生直接的影响。 ? F 图2—12 测量力引起的测杆变形 （三）应力变形 结构件在加工和装配过程中形成的内应力释放所引发的变形同样影响仪器精度。零件虽然经过时效处理，内应力仍可能不平衡，金属的晶格处于不稳定状态。例如未充分消除应力的铸件毛坯，经切削加工后，由于除去了不同应力的表层，破坏了材料内部的应力平衡，经过一段时间会使零件产生变形，在运行时产生误差。 （四）磨损 磨损使零件产生尺寸、形状、位置误差，配合间隙增加，降低仪器的工作精度的稳定性。磨损与摩擦密切相关。由于零件加工表面存在着微观不平度，在运行开始时，配合面仅有少数顶峰接触，因而使局部单位面积的比压增大，顶峰很快被磨平，从而迅速扩大了接触面积，磨损的速度随之减慢。 0 t t1 t2 ?f ?fh 图2—13 实际的磨损过程 （五）间隙与空程 配合零件之间存在间隙，造成空程，影响精度。 在滑动轴系中，轴与套之间的间隙制约着轴系的回转精度的提高； 在开环伺服定位系统中，通常以蜗轮蜗杆或精密丝杠驱动工作台作直线位移或回转运动，蜗轮与蜗杆之间的齿侧间隙或丝杠与螺母之间的配合间隙直接引起工作台的定位误差。 弹性变形在许多情况下，会引起弹性空程，同样会影响精度。 （六）温度 1m长的传动丝杠均匀温升 ，轴向伸长 ，引起传动误差。 水准仪的轴系在的-40~+40 0C的工作环境下，轴系为间隙配合从间隙为4.8um～过盈2.4um ；轴系间隙的变化量达7um。 温度的变化可能引起电器参数的改变及仪器特性的改变，引起温度灵敏度漂移和温度零点漂移 。 温度的变化使润滑油的粘度下降，使系统刚度和运动精度下降、磨损加快。 结构件产生弯曲变形，改变了仪器各组成部件之间的位置关系。 （七）振动与干扰 当仪器受振时，仪器除了随着振源作整机振动外，各主要部件及其相互间还会产生弯曲和扭转振动，从而破坏了仪器的正常工作状态，影响仪器精度。 如在瞄准读数中，振动可能使被瞄准件和刻尺的像抖动而变模糊； 振动频率高时，还会使紧固件松动。 若外界振动频率与仪器的自振频率相近，则会发生共振，损坏仪器。 （八）干扰与环境波动引起的误差 所谓干扰，一方面是外部设备电磁场、电火花等的干扰，另一方面是由于内