Q_ZLFC58-2019一氟甲烷(R41)企业标准.pdf

ICS Q/ZLFC 中化 蓝 天 氟 材 料 有 限公 司 企 业 标 准 Q/ZLFC 58—2019 代替 Q/ ZHYK 18-2019 一氟甲烷(R41) Fluoromethane 文稿版次选择 2019-10-29发布 2019-11-01实施 中化蓝天氟材料有限公司 发 布 Q/ZLFC 58—2019 前  言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本公司一氟甲烷产品为刻蚀气体半成品，主要应用于半导体及电子产品的制程中。为方便我司生产 和销售，本标准对其技术指标和检验方法进行统一的规定。 本标准代替Q/ZHYK 18-2019 《一氟甲烷 （R41）》，与Q/ZHYK 18-2019相比，其主要变化如下： ――公司法人由“浙江化工院科技有限公司”变更为 “中化蓝天氟材料有限公司”。 本标准由中化蓝天氟材料有限公司提出。 本标准由中化蓝天氟材料有限公司归口。 本标准起草单位：中化蓝天氟材料有限公司。 本标准主要起草人：杨先武，孙芳，卢燕，翟梅菊，吴华明，赵燕芳。 本标准所代替标准的历次版本发布情况： ――Q/ZHYK 18-2019。 I Q/ZLFC 58—2019 一氟甲烷 （R41） 1 范围 本标准规定了一氟甲烷产品的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输、安全。 本标准适用于二甲醚为原料氟化制得的一氟甲烷产品。 一氟甲烷的分子式：CH F。 3 相对分子质量：34.039 （按2012年国际相对原子质量表）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 6681-2003 气体化工产品采样通则 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 7373 工业用二氟一氯甲烷 （HCFC-22） GB/T 7376-2008 工业用氟代烷烃中微量水分的测定 GB/T 9722-2006 化学试剂气相色谱法通则 GB/T 9740 化学试剂 蒸发残渣测定通用方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB 13690 化学品分类和危险性公示 通则 TSG R0006-2014 气瓶安全技术监察规程 3 要求 3.1 性状 无色无味气体。 3.2 理化指标 一氟甲烷应符合表1所示的技术要求。 表1 技术要求 项目 指标 一氟甲烷，w /% ≥99.9 乙烯，w /%