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针尖增强拉曼光谱技术原理与系统设计 一、技术背景 随着纳米技术和生命科学研究的不断深入，各种纳米尺度表征和操纵技术的开发受到人们重视。 电子显微镜（Electron Microscope）和扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)是目前纳米研究中普遍使用的仪器，尽管两者均具有极高的空间分辨率，但无法直接获得物质的成分和结构信息。 传统显微拉曼光谱技术一直是研究物质成分、分子结构和动力学特征的重要手段，但受光学衍射极限和探测灵敏度的限制，很难直接应用于纳米尺度表征。 最近10 年，一种针尖增强拉曼光谱术(Tip-Enhanced Raman Spectroscopy，TERS)应运而生。基于无孔径近场光学显微镜的思想，TERS将SPM与表面增强拉曼光谱技术(Surface Enhanced Raman Spectroscopy，SERS)结合在一起，能够实现对样品表面纳米尺度的形貌表征和纳米局域拉曼光谱探测。 经过近10 年的发展，TERS已经被应用于纳米材料、生物样品、染料分子和半导体等领域的研究，并有望实现真正的单分子探测、表征和操纵。 二、基本原理 三、针尖增强拉曼光谱系统 （二）显微光路的照明/收集方式 （二）显微光路的