Q_TDG 41-2019智能手机滤波器用6英寸钽酸锂晶片.pdf

Q/TDG 天通控股股份有限公司 企业 标准 Q/TDG 41—2019 智能手机滤波器用6 英寸钽酸锂晶片 2019-12-18 发布 2019-12-20 发布 天通控股股份有限公司 发 布 Q/TDG 41—2019 前 言 本标准编写遵循了GB/T 1.1—2009 《标准化工作导则第1 部分:标准的结构和编写》等有关规定。 本标准由天通控股股份有限公司提出。 本标准起草单位：天通控股股份有限公司。 本标准主要起草人：徐秋峰、唐杰。 本标准于2019 年12 月首次发布。 I Q/TDG 41—2019 智能手机滤波器用6 英寸钽酸锂晶片 1 范围 本标准规定了智能手机滤波器用6 英寸钽酸锂晶片（以下简称晶片）的要求、试验方法、检验规则、 标志和合同内容。 2 规范性引用文件 下列文件对本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1031 表面粗糙度参数及其数值 GB/T 1410 固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法 GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 14140 硅片直径测量方法 GB/T 30118-2013 声表面波（SAW）器件用单晶晶片规范与测量方法 3 要求 3.1 化学组成 LiTaO3 。 3.2 结晶完整性 要求在有效直径范围内都是单晶。 3.3 晶向定向精度 晶向定向精度应符合表1 的规定。 表1 晶向定向精度 项目 指标 晶向定向精度 Y42°±0.20° 3.4 外形尺寸及偏差 外形尺寸及偏差应符合表2 的规定。 表2 外形尺寸与偏差 项目参数 尺寸 直径（mm） 150.0±0.2 OF(mm) 47.5±2 1 Q/TDG 35—2018 表2 （续） 项目参数 尺寸 SOF(mm) 14.0±2.0 厚度（mm） (0.2～0.35)±0.05 3.5 表面缺陷 表面缺陷的最大允许值应符合表3 的规定。 表 3