光电式光栅改.pptxVIP

一、计量光栅的结构及工作原理 1. 光栅结构 在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（又称为刻线），这就是光栅。a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光），a+b=Ｗ 称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b= Ｗ/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、 100、250条线条。 　计量光栅按刻线表面的结构可分为幅值光栅和相位光栅。幅值光栅也称为黑白光栅，表面刻线如图所示，其特点是栅线与缝隙黑白相间。相位光栅也称为闪耀光栅，表面刻划如图，其横截面呈锯齿形。 ; 2、光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅（光栅1、光栅2）叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ，这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹。; 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点。 (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个栅距W时， 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度B，如果光栅作反向移动，条纹移动方向也相反。莫尔条纹间距B与栅线夹角θ之间的关系为 ; （2） 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时，莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动；反之，当光栅1向左移动时，莫尔条纹沿着光栅2