扫描电子显微的技术.pptxVIP

扫描电子显微技术 ;;一、扫描电镜的特点;二、扫描电镜的电子与物质的相互作用;二、扫描电镜的电子与物质的相互作用;二、扫描电镜的电子与物质的相互作用;三、结构原理;三、结构原理;（1）电子光学系统;（2）信号接收和处理系统;（3）真空系统;四、分辨率和景深;四、分辨率和景深;（2） 样品衬度的影响 样品衬度是指电子束通过两特征点时，所产生的二次电子强度比。不同衬度的样品为了得到满意的图像其所需的最终电子束尺寸也不一样。 (3) 样品激发区的影响 入射电子在样品内的??效激发区大大超过入射束直径，电子在有效激发区内运动必将激发各种信号，各种信号的能量和穿透能力各不相同，只有一定深度和能量的射线才能逸出样品表面被探测到。由于二次电子能量低（5ev），只有在样品表层下10nm深度内激发的二次电子，才有可能逸出表面，因此，二次电子激发区的横向尺寸小，几乎等于入射束的直径；而背散射电子和X射线，他们分别具有较高的能量和较强的穿透能力，可以从样品较深部位射出，其激发区比入射电子束直径大若干倍。所以二次电子象的分辨率比背散射象高。;五、分辨率和放大倍率;六、工作方式;六、工作方式;六、工作方式;六、工作方式;六、工作方式;六、工作方式;七、样品制备;八、应用;八、应用; 常见的断口象 断口形貌分析一直是材料工作者