射线显微分析.pptxVIP

第八章 x射线显微分析; 第一节 基本知识 第二节 波谱仪 第三节 能谱仪 第四节 X射线微区分析的方法;8.1.1 基本知识;特征X射线 ：当样品受到高能电子束的轰击时，样品中原子的内层电子脱离较低的能级层，使原子处于受激发状态，原子系统的能量升高。接着，处于较高能级的外层电子迅速跃迁到有空位的内层，并释放多于的能量，使原子系统能量回降。外层电子释放出的能量等于电子跃迁前后能级之间的能量差，且这种能量将转变成X射线的辐射能。因为每层电子能级间的能量大小是不同的，且不同的元素有不同的能量确定值，所以电子跃迁前后能级间的能量差也是定值，进而转变成X射线的辐射能的值也会是确定值。把这种确定的X射线称为特征X射线。;空间分辨率：包括横向分辨率和深度分辨率两部分。它们的产生是由大部分入射电子束到达样品时，仍有多于的能量，因而使电子在样品中沿纵深方向穿行，并横向弹性散射，使样品中较大的体积范围内产生X射线。与入射电子束的直径相比，样品中产生X射线的体积的深度和水平方向的长度都要大许多，把这个体积中的包含了产生90％以上X射线的那部分算作有效分辨率。由于是一种立体的概念，所以又称为空间分辨率。 对于透射电镜附设的X射线显微分析仪，空间分辨率的大小与电子束的能量、样品的厚度和样品的密度等有直接的关系。一般对于200nm的超薄样品，选用80KV