第三章：传感器之三.pptxVIP

3.4 电容式压力传感器 ;3.4电容式压力传感器;一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20～30pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内。最大位移应小于间距的1/10，一般为0.1μm级，故在微位移测量中应用最广。 ⑴变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性 电容式传感器的灵敏度： 输出电容的变化量ΔC与输入位移Δd之间成非线性关系. 当|Δd/d0|1时，可略去高次项，得到近似的线性关系： → ;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;差动平板式电容式传感器的灵敏度: 在|Δd/d0|1时，略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为 如下的线性关系： → 非线性误差 如果只考虑线性项和二次项，则电容式传感器的相对非线性误差近似为： ;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;与位移△X成线性关系！;⑵电容式角位移传感器： 当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就 发生改变，改变了两极板间电容量。 当θ=0时，则 ;3.4电容式压力传感器;⑴测量液位高度 　　设被测介质的介电常数为ε1，液面高度为h，变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，由其基本尺寸决定的初始电容值为： ;3.4电容式压力传感器;⑵介质插入极板深度： 两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的介质，以不同深度插入电容器中。 设传感器初始电容： 传感器总电容量C为： 可见，电容的相对变化量与电介质εr2的移动量L成线性关系。;表3-11 电介质材料的相对介电常数 ;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;双稳态 触发器;U0平均值为零;;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;为减小这种误差 ① 一般尽量选取温度系数小和温度系数稳定的材料。如绝缘材料采用石英、陶瓷等，金属材料选用低膨胀系数的镍铁合金。或极板直接在陶瓷、石英等绝缘材料上蒸镀一层金属膜来代替。 ② 采用差动对称结构，并在测量线路中对温度误差加以补偿。 ;温度变化对介质介电常数的影响 使传感器电容改变，带来温度误差。温度对介电常数的影响随介质不同而异。 这种温度误差可用后接的测量线路进行一定的补偿，而完全消除是困难的。 ;3.漏电阻的影响（绝缘性能） ;4.边缘效应与寄生参量的影响 边缘效应 理想条件下，平行板电容器的电场均匀分布于两极板所围成的空间，这仅是简化电容量计算的一种假定。 当考虑电场的边缘效应时，情况要复杂的多，边缘效应的影响相当于传感器并联一个附加电容，引起了传感器灵敏度下降和非线性增加。 ① 为克服边缘效应，首先应增大初始电容量C0，即增大极板面积，减小极板间隙。 ② 在结构上增设等位环来消除边缘效应。 ;;寄生参量;;⑤采用运算放大器法 ;5、防止和减小外界干扰;3.4.2电容式传感器的应用;3.4电容式压力传感器;3.4电容式压力传感器;2、电容式加速度传感器 当传感器壳体随被测对象沿垂直方向作直线加速运动时，质量块在惯性空间中相对静止，两个固定电极将相对于质量块在垂直方向产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的间隙发生变化，一个增加，一个减小，从而使C1、C2产生大小相等、符号相反的增量，此增量正比于被测加速度。 电容式加速度传感器的主要特点是频 率响应快和量程范围大，大多采用 空气或其它气体作阻尼物质。; ;差动式电容测厚传感器的测量原理框图如图所示。音频信号发生器产生的音频信号，接入变压器T的原边线圈，变压器副边的两个线圈作为测量电桥的两臂，电桥的另外两桥臂由标准电容C0和带材与极板形成的被测电容Cx(Cx=C1+C2)组成。 电桥的输出电压经放大器放大后整流为直流，再经差动放大， 即可用指示电表指示出带材厚度的变化。 ;4、电容式液位计 棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之间