Q_718J-CP029-2019电子工业用气体 碳酰氟.pdf

Q/718 中国船舶重工集团公司第七一八研究所企业标准 Q/718J-CP029-2019 代替Q/718J165-2015 电子工业用气体 碳酰氟 Gas for electronic industry Carbonyl fluoride 2019-04-19 发布 2019-04-19 实施 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 发布 Q/718J-CP029-2019 前 言 本标准按GB/T 1.1-2009和Q/718 J001给出的规则起草。 本标准代替Q/718J165-2015 《电子工业用气体 碳酰氟》。 本标准由中国船舶重工集团公司第七一八研究所提出。 本标准由中国船舶重工集团公司第七一八研究所科技与信息化部归口。 本标准起草部门：中国船舶重工集团公司第七一八研究所特种气体工程部。 本标准主要起草人：孙秋丽、郑秋艳、李翔宇、刘智慧、孙江涛。 本标准首次发布时间为2015 年，本次为第1 次修订。 I Q/718J-CP029-2019 电子工业用气体 碳酰氟 1 范围 本标准规定了电子工业用气体碳酰氟的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 本标准适用于以CO和CO2为原料的合成方法、以光气为原料的合成方法、以三氟甲烷(HFC–23)或一 氯二氟甲烷(HCFC–22)为原料的合成方法、以四氟乙烯为原料的合成方法制备的的碳酰氟，碳酰氟的全 球暖化潜能值(GWP)很低，经精制纯化的碳酰氟可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物 的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。 分子式：COF2 分子量：66.0069 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 190-2009 危险货物包装标志 GB/T 4844.3-1995 高纯氦 GB 5100-1994 钢质焊接气瓶 GB/T 6681-2003 气体化工产品采样通则 GB 7144-1999 气瓶颜色标志 GB/T 13610-2014 天然气的组成分析 气相色谱法 3 技术要求 碳酰氟的质量应符合表1的指标要求： 表1 指标 项 目 分析方法 指标1 指标2 -2 99.9 碳酰氟纯度，10 ≥ 99 -6 20 氢含量，10 ≤ 100 -6 400 20 氧+氩含量，10 ≤