Q_718J-CP028-2019电子工业用气体 四氟化硅.pdf

Q/718 中国船舶重工集团公司第七一八研究所企业标准 Q/718J-CP028—2019 代替Q/718J164—2015 电子工业用气体 四氟化硅 Gas for electronic industry—Silicon tetrafluoride 2018-8-10 发布 2018-8-10 实施 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 发布 Q/718J-CP028—20 19 前 言 本标准按GB/T 1.1-2009和Q/718 J001给出的规则起草。 本标准代替Q/718J164—2015 《电子工业用气体 四氟化硅》。 本标准由中国船舶重工集团公司第七一八研究所提出。 本标准由中国船舶重工集团公司第七一八研究所科技与信息化部归口。 本标准起草部门：中国船舶重工集团公司第七一八研究所特种气体工程部。 本标准主要起草人：柳彤、郑秋艳、孙秋丽、李海军、孙江涛。 本标准首次发布时间为2015 年，本次为第1 次修订。 I Q/718J-CP028—20 19 电子工业用气体 四氟化硅 1 范围 本标准规定了电子工业用气体—瓶装四氟化硅的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运 输、储存、充装和安全要求。 本标准适用于以工业四氟化硅为原料经净化制得的瓶装四氟化硅。 四氟化硅主要用于微电子工业半导体器件生产中氮化硅和硅化钽的等离子蚀刻、发光二极管P型掺 杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料。 分子式：SiF4 分子量：104.0791 （按2005年国际相对原子质量） 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190-2009 危险货物包装标志 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 6681-2003 气体化工产品采样通则 GB 7144-1999 气瓶颜色标志 GB 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 15382 气瓶阀通用技术条件 GB/T 30903-2014 无机化工产品杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS） GB/T31058-2014 四氟化硅 GB/T 4844.3 高纯氦 定量包装商品计量监督管理办法 气瓶安全监察规程 气瓶安全监察规定 危险货物运输规则 3 技术要求 四氟化硅的质量应符合表1的指标要求。 1 Q/718J-CP028—20 19 表1 四氟化硅技术指标 项 目 指 标 分析方法 -2 99.999 四氟化硅纯度，10 ≥ -6 氧、氮、二氧化碳、一氧化碳、 氧含量，10 ≤ 1 -6