分子泵维修常见问题故障.docxVIP

查找故障 故障现象 检查 操作 系统通电时，LED 没有闪烁 0.5 秒 电源是否出现故障 确保电源已打开并且保险丝 （及限流设备）未松开。 发送并行“启动”命令后泵 不旋转 检查电源是否打开并且故障 输出是否活动 如果有故障信号，应检查橙 色状态 LED 是否闪烁。如果 出现闪烁，则应参见章节 5.5.1.如果电源已打开、没 有故障信号并且转轴任然不 旋转，则表示泵出现故障。 发送串行“启动”命令后泵 不旋转 检查泵是否回复“启动”命 令 如果没有回复，则应检查串 行通信链接是否通电并且 “串行启用”是否激活以及 电源是否打开。检查橙色状 态 LED 是否闪烁。 泵在多站模式下不响应 检查是否启用多站模式 确保泵有多站地址并且使用 多站协议发送命令。 橙色状态 LED 闪烁错误代码 注意每个序列 6 下闪烁中长 闪烁的位置，以解读错误代 码。 查阅相关错误代码并按照所 提供的说明进行操作 运行时额定 LED 不亮或泵没 有以全速旋转或泵出现故障 入口压力是否过高？ 如果是这样，应减小抽取负 载或检查系统是否有大泄漏。 泵运行时是否太热？ 增加泵的冷却。可能需要从 通风冷却变成水冷。可能需 要增大冷却水流量或降低水 温或同时采取这两种措施。 检查外部热源确保没有辐射 过多热量。 转轴旋转是否顺畅？ 如果不是，泵轴承可能已损 坏。 无法达到极限压力 压力是否因水蒸气而受限？ 烘烤系统和泵。 是否任何真空压力表有污物？ 如果是这样，应清洁或更换。 抽取速度是否不足（由于泵 和压力表接触不良或中间有 太大的腔）？ 使其接触良好或减小体积。 层间入口压力是否 0.5mbar(50pa) 如果层间入口压力太大，涡 轮分子泵上的入口压力会增 大；应确保层间入口压力 0.5mbar(50 pa)。 前级压力是否10mbar? 如果是这样，前级压力可能 太大。检查后备管道是否有 泄漏。如果对处理能力要求 较高，则可能需要更大的后 备泵。 系统的高真空区域是否有污 物？ 如果是这样，应清洁高真空 系统。 检查系统的其它部分是否有 泄漏或污物。 如果发现有，则应修补泄漏 处并清除污物。 泵噪音很大或振动过大或两 种情况同时出现 泵转速与所连接系统的共振 频率是否相同？ 如果是这样，则应更改系统 的固有频率或使用活动风箱 隔离泵。 震动是从转动的后备泵传递 过来的吗？ 如果是这样，则应在后备线 路中安装活动风箱或隔振器。 噪音是不是不规则并且越来 越糟糕？ 如果是这样，则表示轴承有 瑕疵。 泵是不是发出持续的啸叫？ 如果是这样，则表示转轴失 衡。