传感器和检测技术第二章4光栅.pptVIP

二、光栅式位移传感器 光栅式位移传感器有测量线位移的长光栅和测量角位移的圆光栅。; ;1.长光栅位移传感器的工作原理;a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光）， a+b=W称为光栅的栅距（也称光栅常数）。;运动;光栅位移传感器主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。;光栅数字传感器是干什么的？;1.长光栅位移传感器的工作原理;若光栅栅距为W，两个相邻 莫尔条纹的间距为BH（即 莫尔条纹中两条暗纹或两条 亮纹之间的距离）则有;运动方向：当两个光栅沿刻线垂直方???作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。;莫尔条纹的位移与光栅的移动成 比例：光栅每移动一个栅距W， 莫尔条纹移动一个条纹间距BH；;莫尔条纹具有位移放大作用：莫 尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角 之间关系为BH= W/θ,θ越小， 则BH越大。这相当于把栅距 W放 大了 1/θ倍。 如对于25线/mm长光栅而言， W=0.04mm,若θ=0.016rad，则 BH =2.5mm(这样，可把肉眼看不 见的光栅位移变成为清晰可见的 莫尔条纹移动，可以用测量条纹 的移动来检测光栅的位移。可以 实现高灵敏的位移测量) ;误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形