第三章电子显微分析.pptxVIP

一、分辨率——光学显微镜的局限性;决定成象(分辨)质量的因素由以下三个因素来决定;第二，分辨本领的高低最决于光学仪器元件的精度； 对光学显微镜来说，起主要作用的是物镜，由计算得到光学显微镜所能分辨的最小距离δ=0.61(λ/n·sinα) ;第三，对光学仪器而言，任何系统的最终像将形成在某种装置上，如眼睛的视网膜，电视摄像的镜头等，这些光学“仪器”的分辨率，不仅有一定的限制，而且仅能反映可见光。 ;二、电子显微镜工作原理和结构简介;在电子显微镜中，电子的加速电压很高，电子速度很大??接近光速。此时需考虑运动速度对粒子质量的影响．根据相对性原理而得到电子波的波长表达式为： λ= 12.25/√V（1+0.9788×10-6V） ;加速电压与电子波长 加速电压（kV） 电子波长（A） 加速电压（kV） 电子波长（A） 25 0.076 200 0.025 50 0.054 500 0.014 75 0.043 1000 0.0087 100 0.037 3000 0.0036 ;2．电子与物质的相互作用;;(二)电子在电磁场中的运动特征;静电透镜：我们把能产生凸透镜形状的等电位曲面簇的电极装置称为。下图表示出静电透镜与光学透镜光路的比较。 ;2．电子在磁场中的运动轨迹受磁场的强度和形状制约。 电子在磁场中运动，将受到洛伦磁力作用。在均匀磁场中，磁力线互相干行，等磁位面是一系列垂直于磁力线的平行平面.磁场方向是固定的，电子在其中运动将作圆周运动或沿着磁场方向作螺旋运动 ;电磁透镜光路与光学透镜光路的比较及电磁透镜的工作原理如图所示。 ;（四）、电子显微镜的工作原理和结构;2、电子显微镜的结构:;（1）照明系统 电子枪 第一聚光镜 第二聚光镜 （2）样品室 样品移动机械装置 测角台 （3）成像放大系统 物镜 中间镜 投影镜 （4）观察记录系统 观察室 照相装置;三、透射电子显微镜和扫描电子显微镜;;TEM;透射电镜示意图 一、仪器结构 透射电子显微镜由三大部分组成： 电子光学系统， 真空系统 供电控制系统。 ;;;;Formation of electron diffraction and HRTEM image ;Electron Diffraction Pattern;四、电子衍射 利用透射电镜进行物相形貌观察，仅是一种较为直接的应用，透射电镜还可得到另外一类图像---电子衍射图。图中每一斑点都分别代表一个晶面族，不同的电子衍射谱图又反映出不同的物质结构。 ;1、特点 电子衍射原理和X射线衍射原理是完全一样的，但较之其还有以下特点： 1）电子衍射可与物像的形貌观察同步结合，使人们能在高倍下选择微区进行晶体结构分析，弄清微区的物相组成； 2）电子波长短，使单晶电子衍射斑点大都分布在一二维倒易截面内，这对分析晶体结构和位向关系带来很大方便； 3）电子衍射强度大，所需曝光时间短，摄取衍射花样时仅需几秒钟。 ;;第四节 扫描电镜(Scanning Electronic Microscopy, SEM)。 由于透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的程度。 SEM用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。;扫描电镜的优点是， 1 有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调； 2有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构； 3试样制备简单； 4可同时进行显微形貌观察和微区成分分析。;;二、扫描电镜结构原理;扫描电镜成像示意图;三、扫描电镜的主要性能与特点;放大倍率高;? 分辨率高;景深D大 ;多孔SiC陶瓷的二次电子像;一般情况下，SEM景深比TEM大10倍，比光学显微镜（OM）大100倍。如10000倍时,TEM :D＝1?m，SEM:10?m, 100倍时，OM:10?m，SEM=1000?m。 ;四、扫描电镜图象及衬度;二次电子;背散射电子与二次电子的信号强度与Z的关系;1．二次电子象;　　凸凹不平的样品表面所产生的二次电子，用二次电子探测器很容易全部被收集，所以二次电子