电容式测厚仪原理.docxVIP

电容式测厚仪 一、电容传感器基本原理 电容传感器具有温度稳定性好、结构简单、精度高、响应快、线性范围宽和实现非接 触式测量等优点。近年来，由于电容测量技术的不断完善，微米级精度的电容测微仪已是 一般性产品，电容测微技术作为高精度、非接触式的测量手段广泛应用于科研和生产加工 行业。电容传感器最常用的形式为平行平板电容器，物理学上用下式描述： 即电容器的电容值 C 与极间距 h 成反比，与极板面积 S 和介电常数  成正比。对于 变极距型传感器，测量中被测物与大地连接，单极式电容传感器与之形成一个电容器 ， 此电容器接入开环放大倍数为 A 的运算放大器反馈回路中，由此得到其原理公式： 式中：  为电容式精密测微仪的电压输出；  为标准参比电容；  为信号源标准方 波输出信号；S 为传感器测头有效端面面积； 器与被测物体之间的距离。  为传感器测头的有效待测电容；h 为传感 二、电容测厚仪设计 图 1 电容测厚仪传感器安装结构示意图 电容测厚仪用于测量金属板材在轧制过程中的厚度变化， ， 材是电容的动极板，总电容为 ，作为一个桥臂。  放在板材两边，板 如果板材只是上下波动，电容的增量一个增加一个减少，总的电容量  不 变；如果板材的厚度变化使电容  变化，电桥将该信号变化输出为电压，经放大器、整流 电路的直流信号送出处理显示，显示为厚度变化。 图 2  测厚原理示意图 图 2 所示为测厚原理，由于被测物 3 是非绝缘体，特别是在线测量时，由于工件加工 中存在振幅为  的振动，所以采用差动测量的方法，使其表面分别与传感器 1、2 构成电 容器，由此形成对其厚度变化量  的实时监测，即当给定传感器 2 的相对位置和板材初 始厚度 h 时，板材厚度变化  ，则有 ，传感器引起电压的变化为： 式中： 可得总的变化电压： 由此，差动测量方法有效地解决了工件加工过程中的振动问题。 图 3 电容测厚仪电路原理框图 至此，输出信号通过放大、整流、差放电路和指示仪表即可显示板材的厚度 三、电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 C C  L R C C  R B L 。优点  由于这种传感器具有结构简单，体积小，动态响应好，能实现非接触测量等特点， 因而被广泛应用 动态响应好 温度稳定性好电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低 的材料，又由于本身发热极小，因此影响稳定性也极微小 缺点 .输出阻抗高，负载能力差，电容传感器的电容量受其电极几何尺寸等限 制，一般为几十皮法到几百皮法，使传感器输出阻抗很高，尤其当采用 音频范围 内的交流电源 时，输出阻抗更高，因此传感器负载能力差， 易受外界干扰影响而产生不稳定现象； 寄生电容影响大