微纳加工技术（整理）.pptVIP

 平面微纳米加工技术虽然主要应用于集成电路制造, 但近年来微系统技术中也大量应用平面工艺制作各种微机械、 微流体和微光机电器件等 探针工艺 探针工艺可以说是传统机械加工的延伸, 这里各种微纳米尺寸的探针取代了 传统的机械切 削工具.微纳米探针不仅包括诸如扫描隧道显微探针, 原子力显微探针等固态形式的探针, 还包括聚焦离子束, 激光束, 原子束和火花放电微探针等非固态形式的探针. 飞秒激光加工技术 飞秒激光是一种以脉冲形式运转的激光，持续时间非常短，只有几个飞秒（一飞秒是10-15秒） 飞秒激光的特点 1、飞秒激光是我们人类目前在实验条件下能够获得的最短脉冲，它的精确度是± 5 微米; 2、飞秒激光有非常高的瞬间功率，它的瞬间功率可达百万亿瓦，比目前全世界的发电总功率还要多出上百倍; 3 物质在飞秒激光的作用下会产生非常奇特的现象，气态的物质、液态的物质、固态的物质瞬间都会变成等离子 4、飞秒激光具有精确的靶向聚焦定位特点，能够聚焦到比头发的直径还要小的多的超细微空间区域; 飞秒激光加工技术应用举例 加工前探针的扫描电镜分析图 加工后探针的扫描电镜分析图 利用飞秒激光纳米加工系统得到的PMMA材料直线图形 模型工艺 模型工艺则是利用微纳米尺寸的模具复制出相应的微纳米结构. 模型工艺包括纳米压印技术, 塑料模