钨丝灯扫描电镜操作指南.docxVIP

钨丝灯扫描电镜操作规程 开机 打开房间总电源，打开氮气开关，打开UPS的总开关，再将其面板电源开关打开，将仪器面板上的开关（Main switch）由OFF转向ON，在控制器刷卡机上刷卡，双击图标“Vega”，登陆； 软件登陆后点击右下角“泄真空”，放气结束后拉开舱门，即更换样品； 依次旋转出样品台对应位置装样，注意每次旋转必须等待软件恢复正常再选准样品座螺丝，放好样品台后一定要将螺丝拧紧，以防刮擦其他部位，造成样品台卡死； 放好样品后关闭样品室舱门，并手扶舱门，点击软件右下方“抽真空”，待听到“啪”的一声，表明舱门已经吸合，待窗口中的样品室压力和镜筒压力的进度条显示9.0e-003Pa后，表示样品室和镜筒中已经达到可工作真空度，此时可执行下一步骤： 警告：样品台在移动过程中，不要接触任何部件。移动的部件可能导致人身伤害及仪器损伤。在更换样品的时候使用合适的手套防止污染样品室内部的器件！ 在关闭样品室之前，确保样品不会碰到样品室、物镜极靴或者探头。样品与样品室内部件的碰撞会对电竞造成损害！ 于窗口中点选“高压HV”，当电流和高压下方进度条出现黄色，即已对灯丝加上高压； 将样品台移动到需要的位置：在观察样品室图像显示区的过程中，将Z轴位置从90mm-45mm-20mm逐渐抬高，以不碰到探头为原则。注：Z轴不能小于8mm。 操作 获取任何一张图片都必须至少经过寻找位置，放大，聚焦，拍照这几个步骤； 在低倍快速的情况下找到要观察的部分，适当放大并聚焦，能够看清楚后再放大并聚焦，直到希望的倍率，在这过程中保证要观察的区域处于扫描窗口中央； 放大：点击”MAG”左右推动轨迹球放大缩小；或在信息栏输入需要放大倍率的数值； 聚焦：点击鼠标右键，选自动聚焦；或点击“WD”左右推动轨迹球手动聚焦； 图片清晰后，调整亮度与对比度：点击鼠标右键选择自动信号强度调整；或点击“AUTO”开始进行自动调节亮度和对比度，高倍调焦低倍照相。 将扫描速度speed调整为4，点击“Acquire Image”保存图像。 关机 测试完毕后，扫描窗口单击右键，选择“最小放大倍率”，回到最小放大倍数； 点击“返回初始位置”，将样品台返回到初始位置； 点击“高压”，关闭高压； 点击“泄真空”，泄掉真空，取出样品，然后点击“抽真空”，直到样品室压力和镜筒压力下方进度条变绿并显示9.0e-003Pa后，再退出软件； 注意：每天关闭SEM时，必须保证样品室和镜筒处于高真空（进度条都显示9.0e-003Pa）； 5.关闭电脑；刷卡下机，将电镜主机下方左侧开关由ON转向OFF；关闭氮气；关闭房间电源。