扩散操作规程讲解.pptVIP

十二 . 工艺运行 点击手动操作屏的“工艺运行”按钮，进入操作人员运行登录屏： 系统默认启动步为第一步，跳步执 行工艺时请选择启动步号。 扩散操作屏作业 磷扩散工艺过程 清洗 饱和 装片 送片 回温 扩散 关源，退舟 方块电阻测量 卸片 清洗 ? 初次扩散前，扩散炉石英管首先连接 TCA 装置，当炉温升至设定温度，以设定流量 通 TCA6h 清洗石英管。做 TCA 前先要确认管 路的正确 . ? 清洗开始时，若在手动状态下要先开 O 2 ， 再开 TCA ；清洗结束后，先关 TCA ，再关 O 2 。 ? 清洗结束后，进行饱和，待扩散。 饱和 ? 每班生产前或长时间不生产时，须对石英 管进行饱和。 ? 炉温升至设定温度时，以设定流量通小 N 2 （携源）和 O 2 ，使石英管饱和，约 60 分钟 后，关闭小 N 2 和 O 2 。 ? 初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产 时，需使石英管在 1050 ℃通 TCA2 小时后通 源饱和 1 小时以上。 (2+1) 装片 ? 戴好防护口罩和干净的乳胶手套，将清洗 甩干的硅片从传递窗口取出，放在净化装 片台上。 ? 用石英吸笔依次将硅片从硅片盒中取出， 插入石英舟。 ? 每一槽装 2 片 , 若发现硅片表面脏将干净的一 面