Q_JCGJS-006-2019超细钌粉产品标准.pdf

兰州金川贵金属材料股份有限公司企业标准 Q/JCGJS ·006-2019 超细钌粉 Superfine Ruthenium Poeder 编制人：王红梅 何忠 郅欢欢 审核人： 白延利 批准人： 张静 2020 年1 月15 日发布 2020 年1 月15 日实施 兰州金川贵金属材料股份有限公司 发布 前 言 本标准编写格式依据GB/T1.1-2009 《标准化工作导则第一部分：标准的结构和编写》 本标准附录A、附录B 为规范性附录。 本标准由兰州金川贵金属材料股份有限公司提出。 本标准起草单位：兰州金川贵金属材料股份有限公司质量管理部。 本标准适用于集成电路行业的超细钌粉。 本标准主要起草人： 张静 白延利 任志勇 张宗磊 何忠 王红梅 何艳 1 范围 本标准规定了超细钌粉的要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和质量 证明书。 本标准适用于集成电路行业的超细钌粉。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注明日期的引用文件， 其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本 标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注明日期的引用文件，其 最新版本适用于本标准。 JCKJ-ZY-15-143-2015 《钌化合物化学分析方法 辉光放电质谱法》 GBT 23275-2009 《辉光放电质谱仪ELEMENT GD 工作参数》 3 要求 3.1 化学成分 超细钌粉的化学成分应符合表1 的规定。 表 1 超细钌粉的化学成分 Ru 杂 质 含 量%， 不大于 产品名称 不小于（%） Ag Au Pt Rh Ni Cu Fe Cr Co Pb Zn Cd 超细钌粉 99.950 0.003 0.002 0.001 0.005 0.002 0.003 0.005 0.002 0.002 0.005 0.005 0.002 3.2 表面质量 超细钌粉呈黑色粉末状固体，同一批次产品色泽须保持一致，不得有其他外来夹杂物。 3.3 粒度 产品必须经过400 目筛分机，且无筛上物、异物等。 3.4 如用户有特殊要求，供需双方可另行协商解决，并在合同中确定。 4 试验方法 4.1 产品中钌的分析方法按附录A 的规定进行，若客户有特殊要求，经双方协商一致，可按 客户要求的方法分析。 4.2 产品中其它杂质元素分析按附录B 的规定进行。 4.3 产品的表观质量由目测检定。 4.4 产品的粒度检验，筛分后由目视检定。 5 检验规则 5.1 检查与验收 5.1.1 供方质量检测部门负责对产品进行检验，保证产品符合本标准或订货单（或合同）之 规定，并填写质量证明书。 5.1.2 需方应对收到的产品进行检验，如检验结果与产品标准或订货单（或合同）要求所载 不符，可在收到产品之日起15 日内向供方提出，由供需双方协商解决；如需仲裁，仲裁取 样在需方，由供需双方共同进行。 5.2 组批 每批产品应由同一系统、同一生产周期产出的产品组成，单批重量不大于20 公斤。 5.3 取样与制样 5.3.1 仲裁取样件数应