玻璃的减薄技术及不良影响讲课教案.pptVIP

LOGO . Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 2 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 蚀刻 激光 离子 4 稳流 渐开 减 薄 方 法 技术一：蚀刻 蚀刻工艺 以HF溶液作为蚀刻溶液 1.以固定流速 沿玻璃基材 垂直下流 2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面 。 5 Text in here 蚀刻 清洗 清洗 技术一：蚀刻 Slimming 6 减薄流程 7 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 技术二：真空激光减薄 8 所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。 技术二：真空激光减薄 9 系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经 由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶片, 以实现对晶片表面银电极层 的激光减薄。 系统工作原理图如图。 技术二：真空激光减薄 10 优点：( 1) 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; ( 2) 工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化等问题,加之激光加工为非接触加工, 不会对膜层产生机械损伤; ( 3) 利用激光移动灵活的特点, 可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。 技术三：离子减薄技术 11 两个离子枪 从真空室两侧插入 离子束以一定的 掠射角(连续可调) 从样品的两侧轰击样品。 聚光灯从样品 背面照明 当样品出现微孔时 停止减薄。 1 2 3 4 纵向和横向控制好锡液流动 控制好玻璃液的温度 合理配置好拉边机进行双向拉薄 技术四：双向稳流拉薄法 12 关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“ 稳” 字上采取有效的技术措施。 适用范围：超薄玻璃的生产。 13 技术五：逐级渐开拉薄法 1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法( 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法) 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满 足用户的质量指标要求。 14 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 15 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 LOGO *