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物质成分的光谱分析
X-射线荧光光谱分析
2019/5/29
X射线透视学
X射线学 X射线衍射学
X射线光谱学
X射线荧光光谱分析
2019/5/29
• 1929 年施赖伯(Schreiber) 首次应用X射线荧光光
谱分析
• 1948 年制造了第一台用X光管的商品型X射线荧
光谱仪
目前X射线荧光光谱分析已经成为高效率的现
代化元素分析技术;被定为国标标准(ISO)分析方
法之一
2019/5/29
X射线荧光光谱分析法的特点
1) 优点:
① 由于仪器稳定,分析速度快,自动化程度高。用
单道X射线荧光光谱仪测定样品中的一个元素只需要5~
20秒。用多道光谱仪,能在20至100秒内测定完样品中全
部的待测元素(能同时分析多达48种元素)。
② X射线荧光光谱分析与元素的化学结合状态无
关。晶体或非晶体的块状固体、粉末及封闭在容器内的
液体或气体均可直接测定。-
2019/5/292019/5/29 4
③ X射线荧光光谱分析是一种物理分析方法。
分析元素种类为元素周期表中5 92
B~ U ,分析的浓
-6
度范围为10 ~100%;
-1
一般检出限达1µg.g , 全反射X射线荧光光
-3 -6 -1
(TXRF )谱的监测限可达 10 ~ 10 µg.g 。
④非破坏分析、测量的重现性好。
⑤分析精度高。分析精度0.04 %~2 %。
2019/5/292019/5/29 5
⑥ X射线光谱比其他发射光谱简单,易于解析,尤
其是定性分析。
⑦ 制样简单,试样形式多样化,块状、粉末、糊
状、液体都可以,气体密封在容器内也可分析。
⑧ X射线荧光分析也能表面分析,测定部位是0.1mm
深以上的表面层,可以用于表面层状态、镀层、薄膜成
分或膜厚的测定。
能有效地用于测定膜的厚度(10层)和组成(几十种
元素)。
⑨ 能在250μm或3mm范围内进行定位分析,面扫描
成像分析;具有在低倍率定性、定量分析(带标样)物
质成分。
2019/5/292019/5/29 ------------- 6
2)缺点:
2)缺点:
①由于X射线荧光光谱分析是一种相对的比
①由于X射线荧光光谱分析是一种相对的比
较分析,定量分析需要标样对比,而且标样的组
较分析,定量分析需要标样对比,而且标样的组
分与被测样的组分要差不多。
分与被测样的组分要差不多。
②原子序数低的元素,其检出限及测定误差
②原子序数低的元素,其检出限及测定误差
一般都比原子序数高的元素差;对于超轻元素
一般都比原子序数高的元素差;对于超轻元素
(H、Li 、Be) ,目前还不能直接进行分析。
(H、Li 、Be) ,目前还不能直接进行分析。
-1
③检测限不够低,1 µg.g-1
③检测限不够低,1 µg.g
④仪器相对成本高,普及率低。
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