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特气系统控制;■特气系统控制 ;■气柜 组成: 1.电控 2.COMPUTER 3.GAS PANEL;2. COMPUTER ;3.盘面(一);(二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD; 一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤: 如果是液态类气体需要输入“净重”确认。 1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。 2 输入password，按确认。 3 L盘面进入“In shutdown”按“commands”菜单。 4 选择“terminate purge”按“Yes”。 5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过程。 6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。 7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。 8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。 9 Process Gas removal执行工艺气体置换。 10 Auto leak test自动检漏测试 11 Manual leak test手动检漏测试，按“ACK”确认。 12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。