气敏材料传感器教材.ppt

沈 阳 工 业 大 学 7. 非电阻型半导体气敏传感器 7.1 金属半导体接触 半导体中电子面对的势垒 s m D W W qV ? ? 势垒区为高阻区（电子阻挡层），称此势垒 为肖特基势垒。 正偏 --- 消弱内建场，势垒降低； 反偏 --- 增强内建场，势垒升高。 肖特基接触 s m W W ? s m W W ? 欧姆接触 半导体表面为电子积累，高电导区，为电子反 阻挡层，电子的运动无需越过势垒。 沈 阳 工 业 大 学 气 敏 传 感 器 沈 阳 工 业 大 学 课程主要内容 1. 气敏传感器应用示例 2. 气敏传感器的分类 3. 气敏传感器的主要参数及特性 4. 金属氧化物的半导体化 5. 表面电阻控制型气体敏感元件 6. 体电阻控制型气体敏感元件 7. 非电阻型气体敏感元件 8. 基于 MEMS 技术的气体微传感器 沈 阳 工 业 大 学 1. 气体传感器应用示例 汽车尾气分析 酒精检测 一氧化碳传感器 可燃性气体传感器外形 沈 阳 工 业 大 学 2. 气敏传感器的分类 气 敏 传 感 器 表面控制型 容积控制型 燃烧热 表面电位 整流特性 阈值电压 电阻型 非电阻型 浓差电极 合成电位 恒电位电解池 氧电极 半导体式 电化学式 接触燃烧式 固体电解质式 沈 阳 工 业 大 学 ? 半导体气敏元件的分类 电导控制型，以金 属氧化物为主。 电压控制型，以 硅为主 2. 气敏传感器的分类 沈 阳 工 业 大 学 3. 气敏传感器的主要参数及特性 (a) 灵敏度 ： 对 气体的敏感程度； (b) 响应时间 ： 对 被测气体浓度的响应速度 ; (c) 选择性 ： 指在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力 ; (d) 稳定性 ： 当被测气体浓度不变时，若其他条件发生改变，在规定的时间内 气敏元件输出特性保持不变的能力 ; (e) 温度特性 ： 气敏元件灵敏度随温度变化而变化的特性 ; (f) 湿度特性 ： 气敏元件灵敏度随环境湿度变化而变化的特性； (g) 电源电压特性 ： 指气敏元件灵敏度随电源电压变化而变化的特性 ; (h) 时效性与互换性 ： 反映元件气敏特性稳定程度的时间，就是时效性；同一型 号元件之间气敏特性的一致性，反映了其互换性。 沈 阳 工 业 大 学 实际应用对气敏传感器的要求 : 3. 气敏传感器的主要参数及特性 (a) 具有良好的选择性； (b) 具有较高的灵敏度和宽响应动态范围； (c) 性能稳定； (d) 响应速度快，重复性好 ; (e) 保养简单，价格便宜。 沈 阳 工 业 大 学 4. 金属氧化物的半导体化 人为在金属氧化物能带结构的禁带中形成或增加附加能级的 过程称为金属氧化物的半导体化。 ? MO 晶体中的缺陷 沈 阳 工 业 大 学 e V V o o ? ? ? h V V m m ? ? ? h V V m m ? ? ? ? 2 e V V o o ? ? ? ? 2 电离能 E 1 电离能 E 2 电离能 E 3 电离能 E 4 4. 金属氧化物的半导体化 氧空位起施主作用 金属空位起受主作用 沈 阳 工 业 大 学 e M e M M i i i 2 2 ? ? ? ? ? ? 对于间隙原子 h O h O O i i i 2 2 ? ? ? ? ? ? 对于反结构缺陷，共价键化合物中， O 替代 M 时，电离产生电子形成施主 能级。 e O e O O m m m 2 2 ? ? ? ? ? ? 对于反结构缺陷，共价键化合物中， M 替代 O 时，电离产生