传感器与检测技术08章压电.ppt

5. 压电传感器的等效电路 可以将压电式传感器看作一个静电电容器。 因此，从性质上讲，压电器件实质上又是一个有源电 容器，通常其绝缘电阻 。 10 10 Ra ? ? 式中， S －电容器极板面积； h －压电元件厚度； －压电材料的介电常数； －真空的介电常数； －压电材料的相对介电常数，随材料 不同而变； －压电元件的内部电容。 0 r a S S C h h ? ? ? ? ? ? 0 ? r ? a C 由此，可以把压电式传感器等效为一个电荷源和一 个电容的电荷等效电路。 必须指出，上述等效电路及其输出，只有在压电器 件本身理想绝缘、无泄漏、输出端开路 ( 即Ra =RL=∞)条 件下才成立。 压电式传感器测试系统的等效电路 8.2 测量电路 ? 1. 测量电路 测量电路：电压放大器、电荷放大器 （ 1 ）电压放大器 考虑电缆长度的影响； （ 2 ）电荷放大器 不用考虑电缆的影响。 单路动态信号测量 两路动态信号测量 电压放大器的简化电路图 （ 1 ）电压放大器 等效电阻 R 为 i a i a R R R R R ? ? ? a a C q U ? t F F m ? sin ? F m —— 作用力的幅值 压电元件所受作用力 C = C c + C i 而 等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为 d 33 ，则在外 力作用下，压电元件产生的电压值为 a m a m C F d C q U 33 ? ? t U U m a ? sin ? U m —— 电压幅值 ? ? a i C C R j R j F d U ? ? ? ? ? 1 33 ? ? 由图 ( b ) 可得放大器输入端的电压 U i ，其复数形式为 ? ? 2 2 2 33 1 i c a m im C C C R R F d U ? ? ? ? ? ? U i 的幅值 U im 为 ? ? ? ? i c a C C C R ? ? ? ? ? ? ? arctan 2 ? ? i c a m m im C C C F d R F d U ? ? ? ? ? 33 2 0 33 1 ? ? ? 输入电压与作用力之间的相位差 φ 为 令 τ = R ( C a + C c + C i ) ， τ 为测量回路的时间常数，并令 ω 0 =1/ τ ，则可得 可见，如果 ω/ω 0 1 ，即作用力变化频率与测量回路时 间常数的乘积远大于 1 时。前置放大器的输入电压 U im 与 频率无关。一般认为 ω/ω 0 ≥ 3 ，可近似看作输入电压与 作用力频率无关。这说明，在测量回路时间常数一定的 条件下，压电式传感器具有相当好的高频响应特性。 但是，当被测动态量变化缓慢，而测量回路时间常数不 大时，会造成传感器灵敏度下降，因而要扩大工作频带 的低频端，就必须提高测量回路的时间常数 τ 。但是靠 增大测量回路的电容来提高时间常数，会影响传感器的 灵敏度。根据传感器电压灵敏度 K u 的定义得 ? ? 2 2 33 1 i c a m im u C C C R d F U K ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? i c a u C C C d K ? ? ? 33 因为 ω R 1 ，故上式可以近似为 可见， K u 与回路电容成反比，增加回路电容必然使 K u 下 降。为此常将 R i 很大的前置放大器接入回路。其输入内 阻越大，测量回路时间常数越大，则传感器低频响应也 越好。当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时 C c 将改变，必须重新校正灵敏度值。 电压幅值比和相角频率比的关系曲线 电荷放大器等效电路 （ 2 ）电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增 益放大器，其基本电路如图。若放大器的开环 增益 A 0 足够大，并且放大器的输入阻抗很高， 则放大器输入端几乎没有分流，运算电流仅流 入反馈回路 C F 与 R F 。由图可知 i 的表达式为： － A 0 C a U ∑ U SC 电荷放大器原理电路图 i R a q C F R F ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? F F SC R C j U U i 1 ? ?