关于MEMS传感器的调查报告.pptVIP

MEMS压力传感器 MEMS温度传感器分类 MEMS传感器的典型应用——压力传感器 MEMS传感器的典型应用——加速度传感器 MEMS传感器的典型应用——陀螺仪 MEMS传感器的典型应用——温度传感器 对MEMS传感器的展望 进入21世纪以来,在市场引导、科技推动、风险投资和政府介入等多重作用下, MEMS传感器技术发展迅速,新原理、新材料和新技术的研究不断深入, MEMS传感器的新产品不断涌现。目前, MEMS传感器正向高精度、高可靠性、多功能集成化、智能化、微型化和微功耗方向发展。 MEMS传感器一直是研究的热点和重点,是各国大力发展的核心和前沿技术,引起了各国研究机构、大学和公司的高度重视,欧美和日本等国显示出了明显的领先优势。国内的一些高校和研究机构已着手MEMS传感器技术的开发和研究,但在灵敏度、可靠性及新技术能力提升方面与国外相比还存在较大差距。许多MEMS传感器品种尚未具备批量生产的能力,离产品的实用化和产业化还很远,有待于进一步提高和完善。 * * MEMS传感器的调查报告 小组成员：刘歆艺、娄顺喜 目录 MEMS的概念及MEMS传感器 MEMS传感器研究现状 MEMS传感器的特点 MEMS传感器的分类及原理 MEMS传感器的典型应用 MEMS传感器的展望 MEMS的概念 MEMS(Micro Electro Mech